[实用新型]一种用于硅片生产的高效插片装置

摘要

本实用新型涉及一种用于硅片生产的高效插片装置。当前，现有的用于硅片生产的插片装置，主要有两种插片方式，一种是采用单一轴插片机械手进行插片，另一种是采用双轴轮转插片机械手进行插片，这两种方式节拍时间浪费严重，增加了企业生产成本，并增加了电控风险，存在不足。本实用新型涉及一种用于硅片生产的高效插片装置，其中第一安装板与第一夹爪气缸连接，第一夹爪气缸与第一夹具连接，第一夹爪气缸与节流阀连接，精密线性位移传感器通过位移传感器安装座与第一夹具连接。本装置采用无缝对接机械手进行插片的方式，这种方式缩短了节拍时间，节拍浪费更低，降低了生产总成本，提高了行业插片速度，采用先进技术进行新的架构，提高了技术创新。

主权项

一种用于硅片生产的高效插片装置，包括第一安装板(1)、精密线性位移传感器(2)、第一夹爪气缸(3)、第一夹具(4)、第一丝杠线性模组(5)、坦克链(6)、拖链背板(7)；其特征在于：第一安装板(1)与第一夹爪气缸(3)连接，第一夹爪气缸(3)与第一夹具(4)连接，第一夹爪气缸(3)与节流阀(29)连接，精密线性位移传感器(2)通过位移传感器安装座(27)与第一夹具(4)连接，第一安装板(1)与第一丝杠线性模组(5)活动连接，拖链背板(7)与第一丝杠线性模组(5)连接，坦克链(6)放置在第一丝杠线性模组(5)内，第一丝杠线性模组(5)一侧设有第一电机保护罩(10)，第一电机保护罩(10)内设有第一伺服电机(28)，第一伺服电机(28)与高扭矩同步主动带轮(24)同轴连接，高扭矩同步主动带轮(24)通过高扭矩同步带(25)与高扭矩同步从动带轮(26)连接，高扭矩同步从动带轮(26)与第一丝杠线性模组(5)连接，第一电机保护罩(10)上设有限位块(11)，第一丝杠线性模组(5)通过第二安装板(13)与第二丝杠线性模组(16)连接，第二安装板(13)上设有若干数量的加强板(12)，第二丝杠线性模组(16)一侧设有第二伺服电机(15)，第二伺服电机(15)与高扭矩同步主动带轮(24)同轴连接，高扭矩同步主动带轮(24)通过高扭矩同步带(25)与高扭矩同步从动带轮(26)连接，高扭矩同步从动带轮(26)与第二丝杠线性模组(16)连接，第二伺服电机(15)上设有第二电机保护罩(14)，第二丝杠线性模组(16)与拖链背板(7)连接，第二气缸(22)通过气爪安装板(19)与第二丝杠线性模组(16)连接，气爪安装板(19)与拖链安装板(20)连接，第二气缸(22)与第二夹具(21)连接，光电传感器(17)通过传感器安装板(18)与气爪安装板(19)连接。