[实用新型]一种用于硅片生产的高效插片装置有效
| 申请号： | 201720667937.3 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN207068896U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 喻由之 | 申请（专利权）人： | 江西宝群电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 | 代理人： | 李永华,张广兴 |
| 地址： | 330000 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 生产 高效 装置 | ||
1.一种用于硅片生产的高效插片装置，包括第一安装板(1)、精密线性位移传感器(2)、第一夹爪气缸(3)、第一夹具(4)、第一丝杠线性模组(5)、坦克链(6)、拖链背板(7)；其特征在于：第一安装板(1)与第一夹爪气缸(3)连接，第一夹爪气缸(3)与第一夹具(4)连接，第一夹爪气缸(3)与节流阀(29)连接，精密线性位移传感器(2)通过位移传感器安装座(27)与第一夹具(4)连接，第一安装板(1)与第一丝杠线性模组(5)活动连接，拖链背板(7)与第一丝杠线性模组(5)连接，坦克链(6)放置在第一丝杠线性模组(5)内，第一丝杠线性模组(5)一侧设有第一电机保护罩(10)，第一电机保护罩(10)内设有第一伺服电机(28)，第一伺服电机(28)与高扭矩同步主动带轮(24)同轴连接，高扭矩同步主动带轮(24)通过高扭矩同步带(25)与高扭矩同步从动带轮(26)连接，高扭矩同步从动带轮(26)与第一丝杠线性模组(5)连接，第一电机保护罩(10)上设有限位块(11)，第一丝杠线性模组(5)通过第二安装板(13)与第二丝杠线性模组(16)连接，第二安装板(13)上设有若干数量的加强板(12)，第二丝杠线性模组(16)一侧设有第二伺服电机(15)，第二伺服电机(15)与高扭矩同步主动带轮(24)同轴连接，高扭矩同步主动带轮(24)通过高扭矩同步带(25)与高扭矩同步从动带轮(26)连接，高扭矩同步从动带轮(26)与第二丝杠线性模组(16)连接，第二伺服电机(15)上设有第二电机保护罩(14)，第二丝杠线性模组(16)与拖链背板(7)连接，第二气缸(22)通过气爪安装板(19)与第二丝杠线性模组(16)连接，气爪安装板(19)与拖链安装板(20)连接，第二气缸(22)与第二夹具(21)连接，光电传感器(17)通过传感器安装板(18)与气爪安装板(19)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片生产的高效插片装置，其特征在于：第一电机保护罩(10)一侧设有支架(9)，支架(9)与丁腈橡胶垫(8)连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
