[实用新型]一种用于硅片生产的高效插片装置有效
申请号: | 201720667937.3 | 申请日: | 2017-06-09 |
公开(公告)号: | CN207068896U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 喻由之 | 申请(专利权)人: | 江西宝群电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 | 代理人: | 李永华,张广兴 |
地址: | 330000 江西省南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 生产 高效 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及光伏自动化设备技术领域,尤其是一种用于硅片生产的高效插片装置。
背景技术
当前,现有的用于硅片生产的插片装置,主要有两种插片方式,一种是采用单一轴插片机械手进行插片,插片的流程是由单一机械手Z轴下工位进行装载空篮,完成后上升至工作位进行插片,满篮后左移动放置于翻转台,这种方式动作单一,节拍时间浪费严重;而另一种是采用双轴轮转插片机械手进行插片,插片的流程是由左、右两支机械手交替工作,一机械手Z轴下工位进行装载空篮,完成后上升至工作位进行插片,同时,另一机械手已装载花篮在下等待位,并根据上方机械手的动作做动态跟随满篮后左移动放置于翻转台,发生的同时右机械手进行其它动作,一直重复以上动作,这种方式虽然左右机械手交替工作,利用一机械手插片移栽的时间,另一机械手继续工作,减低了节拍浪费,但在减少浪费的同时增加了约2万成本,并增加了电控风险,两种插片方式均存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种用于硅片生产的高效插片装置,为克服上述的不足,采用无缝对接机械手进行插片的方式,这种方式缩短了节拍时间,节拍浪费更低,降低了生产总成本,提高了行业插片速度,对整个光伏行业插片清洗整体节拍的提高做出了贡献,采用现有先进技术进行新的架构,提高了技术创新。
本实用新型的技术方案:
一种用于硅片生产的高效插片装置,包括第一安装板、精密线性位移传感器、第一夹爪气缸、第一夹具、第一丝杠线性模组、坦克链、拖链背板;其中:第一安装板与第一夹爪气缸连接,第一夹爪气缸与第一夹具连接,第一夹爪气缸与节流阀连接,精密线性位移传感器通过位移传感器安装座与第一夹具连接,第一安装板与第一丝杠线性模组活动连接,拖链背板与第一丝杠线性模组连接,坦克链放置在第一丝杠线性模组内,第一丝杠线性模组一侧设有第一电机保护罩,第一电机保护罩内设有第一伺服电机,第一伺服电机与高扭矩同步主动带轮同轴连接,高扭矩同步主动带轮通过高扭矩同步带与高扭矩同步从动带轮连接,高扭矩同步从动带轮与第一丝杠线性模组连接,第一电机保护罩上设有限位块,第一丝杠线性模组通过第二安装板与第二丝杠线性模组连接,第二安装板上设有若干数量的加强板,第二丝杠线性模组一侧设有第二伺服电机,第二伺服电机与高扭矩同步主动带轮同轴连接,高扭矩同步主动带轮通过高扭矩同步带与高扭矩同步从动带轮连接,高扭矩同步从动带轮与第二丝杠线性模组连接,第二伺服电机上设有第二电机保护罩,第二丝杠线性模组与拖链背板连接,第二气缸通过气爪安装板与第二丝杠线性模组连接,气爪安装板与拖链安装板连接,第二气缸与第二夹具连接,光电传感器通过传感器安装板与气爪安装板连接。
一种用于硅片生产的高效插片装置,其中:第一电机保护罩一侧设有支架,支架与丁腈橡胶垫连接。
本实用新型的优点在于:本装置采用无缝对接机械手进行插片的方式,这种方式缩短了节拍时间,节拍浪费更低,降低了生产总成本,提高了行业插片速度,对整个光伏行业插片清洗整体节拍的提高做出了贡献,采用现有先进技术进行新的架构,提高了技术创新。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型去除保护罩的后视图。
附图标记:第一安装板1、精密线性位移传感器2、第一夹爪气缸3、第一夹具4、第一丝杠线性模组5、坦克链6、拖链背板7、丁腈橡胶垫8、支架9、第一电机保护罩10、限位块11、加强板12、第二安装板13、第二电机保护罩14、第二伺服电机15、第二丝杠线性模组16、光电传感器17、传感器安装板18、气爪安装板19、拖链安装板20、第二夹具21、第二气缸22、电机安装板23、高扭矩同步主动带轮24、高扭矩同步带25、高扭矩同步从动带轮26、位移传感器安装座27、第一伺服电机28、节流阀29。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的