[实用新型]一种用于硅片生产的高效插片装置有效

专利信息
申请号: 201720667937.3 申请日: 2017-06-09
公开(公告)号: CN207068896U 公开(公告)日: 2018-03-02
发明(设计)人: 喻由之 申请(专利权)人: 江西宝群电子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司44368 代理人: 李永华,张广兴
地址: 330000 江西省南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 硅片 生产 高效 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及光伏自动化设备技术领域,尤其是一种用于硅片生产的高效插片装置。

背景技术

当前,现有的用于硅片生产的插片装置,主要有两种插片方式,一种是采用单一轴插片机械手进行插片,插片的流程是由单一机械手Z轴下工位进行装载空篮,完成后上升至工作位进行插片,满篮后左移动放置于翻转台,这种方式动作单一,节拍时间浪费严重;而另一种是采用双轴轮转插片机械手进行插片,插片的流程是由左、右两支机械手交替工作,一机械手Z轴下工位进行装载空篮,完成后上升至工作位进行插片,同时,另一机械手已装载花篮在下等待位,并根据上方机械手的动作做动态跟随满篮后左移动放置于翻转台,发生的同时右机械手进行其它动作,一直重复以上动作,这种方式虽然左右机械手交替工作,利用一机械手插片移栽的时间,另一机械手继续工作,减低了节拍浪费,但在减少浪费的同时增加了约2万成本,并增加了电控风险,两种插片方式均存在不足。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于硅片生产的高效插片装置,为克服上述的不足,采用无缝对接机械手进行插片的方式,这种方式缩短了节拍时间,节拍浪费更低,降低了生产总成本,提高了行业插片速度,对整个光伏行业插片清洗整体节拍的提高做出了贡献,采用现有先进技术进行新的架构,提高了技术创新。

本实用新型的技术方案:

一种用于硅片生产的高效插片装置,包括第一安装板、精密线性位移传感器、第一夹爪气缸、第一夹具、第一丝杠线性模组、坦克链、拖链背板;其中:第一安装板与第一夹爪气缸连接,第一夹爪气缸与第一夹具连接,第一夹爪气缸与节流阀连接,精密线性位移传感器通过位移传感器安装座与第一夹具连接,第一安装板与第一丝杠线性模组活动连接,拖链背板与第一丝杠线性模组连接,坦克链放置在第一丝杠线性模组内,第一丝杠线性模组一侧设有第一电机保护罩,第一电机保护罩内设有第一伺服电机,第一伺服电机与高扭矩同步主动带轮同轴连接,高扭矩同步主动带轮通过高扭矩同步带与高扭矩同步从动带轮连接,高扭矩同步从动带轮与第一丝杠线性模组连接,第一电机保护罩上设有限位块,第一丝杠线性模组通过第二安装板与第二丝杠线性模组连接,第二安装板上设有若干数量的加强板,第二丝杠线性模组一侧设有第二伺服电机,第二伺服电机与高扭矩同步主动带轮同轴连接,高扭矩同步主动带轮通过高扭矩同步带与高扭矩同步从动带轮连接,高扭矩同步从动带轮与第二丝杠线性模组连接,第二伺服电机上设有第二电机保护罩,第二丝杠线性模组与拖链背板连接,第二气缸通过气爪安装板与第二丝杠线性模组连接,气爪安装板与拖链安装板连接,第二气缸与第二夹具连接,光电传感器通过传感器安装板与气爪安装板连接。

一种用于硅片生产的高效插片装置,其中:第一电机保护罩一侧设有支架,支架与丁腈橡胶垫连接。

本实用新型的优点在于:本装置采用无缝对接机械手进行插片的方式,这种方式缩短了节拍时间,节拍浪费更低,降低了生产总成本,提高了行业插片速度,对整个光伏行业插片清洗整体节拍的提高做出了贡献,采用现有先进技术进行新的架构,提高了技术创新。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型去除保护罩的后视图。

附图标记:第一安装板1、精密线性位移传感器2、第一夹爪气缸3、第一夹具4、第一丝杠线性模组5、坦克链6、拖链背板7、丁腈橡胶垫8、支架9、第一电机保护罩10、限位块11、加强板12、第二安装板13、第二电机保护罩14、第二伺服电机15、第二丝杠线性模组16、光电传感器17、传感器安装板18、气爪安装板19、拖链安装板20、第二夹具21、第二气缸22、电机安装板23、高扭矩同步主动带轮24、高扭矩同步带25、高扭矩同步从动带轮26、位移传感器安装座27、第一伺服电机28、节流阀29。

具体实施方式

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