[实用新型]一种生产电容式触摸屏用镀膜装置

摘要

本实用新型提供一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，包括相连通的预处理室和镀膜室，预处理室内部下方设有传送带，预处理室的内顶部设有可移动的预加热装置，镀膜室的一侧连通有气源装置和真空泵，镀膜室的底部通过支架设有工作台，传送带伸入到镀膜室内与工作台相接，工作台的上表面设有真空吸附面，工作台的底面设有超声波振荡器，镀膜室内工作台的上方设有弧源，弧源包括阴极和阳极，阴极上设有靶材，镀膜室内工作台的两侧设有除尘装置。本实用新型可根据所需对预加热装置进行调节，确保基板均匀的受热，提高后续镀膜效果；而且镀膜过程中产生的粉尘可以通过吸尘泵从吸盘吸入到集尘装置中，避免了整体停机清理粉尘的步骤，提高了镀膜的效率。

主权项

一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，包括预处理室(1)和镀膜室(2)，其特征在于，预处理室(1)内部下方设有传送基板的传送带(3)，预处理室(1)的两侧对应传送带(3)处设有进料口(4)和出料口(5)，预处理室(1)的内顶部设有可移动的预加热装置，镀膜室(2)设置在预处理室(1)出料口(5)的一侧，并通过出料口(5)与预处理室(1)相连通，镀膜室(2)的一侧连通有气源装置(6)和真空泵(7)，镀膜室(2)的底部中央通过支架(8)设有工作台(9)，位于出料口(5)处传送带(3)的一端伸入镀膜室(2)内与工作台(9)相接，工作台(9)的上表面设有真空吸附面，工作台(9)的底面设有超声波振荡器(10)，镀膜室(2)内工作台(9)的上方设有弧源(11)，弧源(11)包括阴极和阳极，阴极上设有朝基板溅射金属等离子体的靶材(12)，弧源(11)上连有控制弧源(11)电流的控制箱(13)，镀膜室(2)内工作台(9)的右侧设有除尘装置，除尘装置包括吸盘(14)、除尘磨头(15)和集尘装置(16)，除尘磨头(15)安装在吸盘(14)内，且其顶端高于吸盘(14)的顶端，集尘装置(16)设置在吸盘(14)的下方，集尘装置(16)内设有与吸盘(14)连通的吸尘泵。