[实用新型]一种生产电容式触摸屏用镀膜装置

权利要求书

1.一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，包括预处理室(1)和镀膜室(2)，其特征在于，预处理室(1)内部下方设有传送基板的传送带(3)，预处理室(1)的两侧对应传送带(3)处设有进料口(4)和出料口(5)，预处理室(1)的内顶部设有可移动的预加热装置，镀膜室(2)设置在预处理室(1)出料口(5)的一侧，并通过出料口(5)与预处理室(1)相连通，镀膜室(2)的一侧连通有气源装置(6)和真空泵(7)，镀膜室(2)的底部中央通过支架(8)设有工作台(9)，位于出料口(5)处传送带(3)的一端伸入镀膜室(2)内与工作台(9)相接，工作台(9)的上表面设有真空吸附面，工作台(9)的底面设有超声波振荡器(10)，镀膜室(2)内工作台(9)的上方设有弧源(11)，弧源(11)包括阴极和阳极，阴极上设有朝基板溅射金属等离子体的靶材(12)，弧源(11)上连有控制弧源(11)电流的控制箱(13)，镀膜室(2)内工作台(9)的右侧设有除尘装置，除尘装置包括吸盘(14)、除尘磨头(15)和集尘装置(16)，除尘磨头(15)安装在吸盘(14)内，且其顶端高于吸盘(14)的顶端，集尘装置(16)设置在吸盘(14)的下方，集尘装置(16)内设有与吸盘(14)连通的吸尘泵。

2.根据权利要求1所述的一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，其特征在于，所述预加热装置包括通过气缸(17)控制的活塞杆(18)，气缸(17)设置在预处理室(1)的外壁上，活塞杆(18)的另一端连有金属挠性软管(19)，金属挠性软管(19)的下端设有向下开口的半圆形的反射罩(20)，反射罩(20)的内部设有加热器(21)，加热器(21)朝向传送带(3)上的基板。

3.根据权利要求2所述的一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，其特征在于，所述反射罩(20)的开口端可拆卸的固定有封口板(22)。

4.根据权利要求1所述的一种生产电容式触摸屏用镀膜装置，其特征在于，所述除尘装置还包括弹性限位件(23)，弹性限位件(23)的一端与吸盘(14)固定，另一端与除尘磨头(15)的下表面固定。