[实用新型]一种嵌套式磁控溅射镀膜装置

摘要

本实用新型是一种嵌套式磁控溅射镀膜装置，靶体横置于腔体的内部中心，靶头上伸出有转轴，活动密封门安装于腔体的底部缺失的一侧，活动密封门的内侧表面沿圆周均布有多个基片安装插孔，基片安装插孔的外围沿圆周均布有多个遮蔽罩插孔，活动密封门的外侧表面中心安装有支撑杆，支架位于腔体下方，支架上设有轨道，支撑杆能够在轨道上滑动，腔体上设有进气口和抽真空口。本实用新型为嵌套式的磁控溅射装置，设有与活动密封门连接的支撑杆和匹配的轨道，通过拉动活动密封门将基片带进和带出真空腔，并且活动密封门能够旋转，方便安装和取下基片，无需使用梯子等爬高工具。

主权项

一种嵌套式磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括腔体(1)、活动密封门(3)、靶体(2)和支架(13)，所述腔体(1)为横置的且一侧底部缺失圆柱形腔体，所述靶体(2)为柱体，所述靶体(2)横置于所述腔体(1)的内部中心，且所述靶体(2)的一端设有靶头，所述靶头上伸出有转轴(11)，所述转轴(11)穿出所述腔体(1)的底部之外与外接电机相连接，且所述转轴(11)与所述腔体(1)的底部之间安装有轴承一，所述活动密封门(3)安装于所述腔体(1)的底部缺失的一侧，所述活动密封门(3)的内侧中心设有与所述靶体(2)的另一端相对应的底座(6)，所述活动密封门(3)的内侧表面沿圆周均布有多个基片安装插孔(14)，每个所述基片安装插孔(14)的长度方向与其所在的圆周的切线方向一致，所述基片安装插孔(14)的外围沿圆周均布有多个遮蔽罩插孔(12)，每个所述遮蔽罩插孔(12)的长度方向与其所在的圆周的切线方向一致，且每个所述遮蔽罩插孔(12)与两个相邻的所述基片安装插孔(14)之间的空隙相对应，所述基片安装插孔(14)中可拆卸地装有基片安装板(4)，所述基片安装板(4)上装有基片(5)，所述遮蔽罩插孔(12)中可拆卸地装有遮蔽板，所述活动密封门(3)的外侧表面中心安装有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)与所述活动密封门(3)之间安装有轴承二(7)，所述支架(13)位于所述腔体(1)下方，所述支架(13)上设有轨道(9)，所述支撑杆(8)的底部安装于所述轨道(9)上，所述支撑杆(8)能够在所述轨道(9)上滑动，所述腔体(1)上设有进气口和抽真空口。