[实用新型]光伏清洗设备用喷淋系统有效
| 申请号： | 201720606126.2 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN207009409U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光伏清洗设备用喷淋系统，用于光伏清洗机内，安装在药水槽体上方，包括机械手，机械手上固定有与外部喷淋液泵管路连通的喷淋管，喷淋管端部固定有随动喷淋头，喷淋管外包裹有防腐外包层；药水槽体上方转动设有倾斜式可开合门板，门板下方则具有承接门板处下落喷淋液的喷淋回收槽，喷淋回收槽底部连接并贯通外部喷淋液回收管路。本实用新型通过与机械手同步运动的喷淋管可对硅片进行冲洗，冲洗后的喷淋液可被下方喷淋回收槽收集回收，可有效避免在上一浸泡池浸泡后的硅片表面附带的浸泡液对下一浸泡池造成污染，且PTFE外包层使喷淋管具有良好的耐腐蚀性能，不受挥发的浸泡液影响，具有较长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 备用 喷淋 系统 | ||
【主权项】：
一种光伏清洗设备用喷淋系统，用于光伏清洗机内，安装在药水槽体(1)上方，其特征在于：包括可抓取药水槽体(1)内硅片的机械手(2)，所述机械手(2)上固定有与外部喷淋液泵管路连通的喷淋管(3)，所述喷淋管(3)端部固定有随动喷淋头(4)，喷淋管(3)外包裹有防腐外包层(5)；所述的药水槽体(1)上方转动设有倾斜式可开合门板(6)，所述倾斜式可开合门板(6)下方则具有承接门板(6)处下落喷淋液的喷淋回收槽，所述喷淋回收槽底部连接并贯通外部喷淋液回收管路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
