[实用新型]光伏清洗设备用喷淋系统有效
| 申请号： | 201720606126.2 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN207009409U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 备用 喷淋 系统 | ||
1.一种光伏清洗设备用喷淋系统，用于光伏清洗机内，安装在药水槽体(1)上方，其特征在于：包括可抓取药水槽体(1)内硅片的机械手(2)，所述机械手(2)上固定有与外部喷淋液泵管路连通的喷淋管(3)，所述喷淋管(3)端部固定有随动喷淋头(4)，喷淋管(3)外包裹有防腐外包层(5)；所述的药水槽体(1)上方转动设有倾斜式可开合门板(6)，所述倾斜式可开合门板(6)下方则具有承接门板(6)处下落喷淋液的喷淋回收槽，所述喷淋回收槽底部连接并贯通外部喷淋液回收管路。
2.如权利要求1所述的光伏清洗设备用喷淋系统，其特征在于：所述的喷淋管(3)为PU管，防腐外包层(5)为PTFE外包层。
3.如权利要求1所述的光伏清洗设备用喷淋系统，其特征在于：所述的喷淋回收槽包括分别设置在门板(6)两侧下方的倾斜式回收槽(7)和与外部回收液管路连通的垂直导槽(8)，所述的倾斜式回收槽(7)与垂直导槽(8)连通，且倾斜式回收槽(7)底部倾斜设置且最低处与垂直导槽(8)连通，所述垂直导槽(8)与外部喷淋液回收管路贯通。
4.如权利要求1所述的光伏清洗设备用喷淋系统，其特征在于：所述的药水槽体(1)侧面具有推动门板转动的推动装置，所述推动装置包括固定在药水槽体侧面的气缸(9)，所述气缸(9)活塞杆端部铰接有连接片(10)，连接片(10)另一端与门板(6)端部固定。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
