[实用新型]光伏清洗设备用喷淋系统有效
| 申请号: | 201720606126.2 | 申请日: | 2017-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN207009409U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
| 发明(设计)人: | 王辉 | 申请(专利权)人: | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
| 地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 清洗 备用 喷淋 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种光伏清洗设备用喷淋系统。
背景技术
在光伏系统用硅片生产制造中,需要对硅片表面进行制绒清洗工序。在进行制绒清洗时,制绒清洗是要在多个反应池内按工序分别浸泡,在完成上一道浸泡后的硅片表面,会附着上一道工序所使用的浸泡液,此时为了保证上一道工序的浸泡液不会对下一工序造成污染、冲淡等影响,需要对硅片进行冲洗。
在制绒工序中,可采用人工推出硅片冲洗,也可采用机械手夹出硅片花篮对硅片进行冲洗。当使用人工进行冲洗时,需要较多人工且冲洗过程存在污染,冲洗人员需要准备较为完备的保护措施。一般制绒工序中使用的浸泡液为酸性或者碱性并具有挥发性,当使用普通PE管作为冲洗管时,机内挥发的酸液或者碱液会腐蚀冲洗管表面,冲洗管使用寿命较短。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术中之不足,本实用新型提供一种可通过机械手段直接在机内对硅片进行喷淋冲洗,减少人工成本,具有较强的耐腐蚀性能,使用寿命较长的光伏清洗设备用喷淋系统。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种光伏清洗设备用喷淋系统,用于光伏清洗机内,安装在药水槽体上方,包括可抓取药水槽体内硅片的机械手,所述机械手上固定有与外部喷淋液泵管路连通的喷淋管,所述喷淋管端部固定有随动喷淋头,喷淋管外包裹有防腐外包层;所述的药水槽体上方转动设有倾斜式可开合门板,所述倾斜式可开合门板下方则具有承接门板处下落喷淋液的喷淋回收槽,喷淋回收槽底部连接并贯通外部喷淋液回收管路。
进一步的,防腐外包层为PTFE外包层。PTFE全称为聚四氟乙烯,具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点,几乎不溶于所有的溶剂,由PTFE外包层包裹的喷淋管,具有良好的抗腐蚀性能,不受挥发的浸泡液影响,具有较长的使用寿命。
喷淋回收槽包括分别设置在门板两侧下方的倾斜式回收槽和与外部回收液管路连通的垂直导槽,所述的倾斜式回收槽与垂直导槽连通,且倾斜式回收槽底部倾斜设置且最低处与垂直导槽连通,所述垂直导槽与外部喷淋液回收管路贯通。倾斜设置的倾斜式回收槽,可便于收集喷淋液并将喷淋液在重力作用下引导至垂直导槽,便于外部喷淋液回收管路收集喷淋液,避免喷淋液落入药液槽体内污染药液。
进一步的,为了便于门板转动开启闭合,药水槽体侧面具有推动门板转动的推动装置,所述推动装置包括固定在药水槽体侧面的气缸,所述气缸活塞杆端部铰接有连接片,连接片另一端与门板端部固定。通过气缸即可方便控制门板开启闭合,便于在提起硅片进行下一步浸泡操作前,预先喷淋冲洗干净硅片,避免硅片表面残液污染下一浸泡液。
本实用新型的有益效果是,本实用新型提供的光伏清洗设备用喷淋系统,用于在制绒工序中对硅片表面进行冲洗,通过与机械手同步运动的喷淋管可对硅片进行冲洗,冲洗后的喷淋液可被下方喷淋回收槽收集回收,在降低人力使用成本,有效避免在上一浸泡池浸泡后的硅片表面附带的浸泡液对下一浸泡池造成污染,且在喷淋管外壁包裹PTFE外包层,使喷淋管具有良好的耐腐蚀性能,不受挥发的浸泡液影响,具有较长的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。
图2是图1中A-A处的剖视放大图。
图中1、药水槽体 2、机械手 3、喷淋管 4、随动喷淋头 5、防腐外包层 6、门板 7、倾斜式回收槽 8、垂直导槽 9、气缸 10、连接片 11、门板限位条。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1和图2所示的一种光伏清洗设备用喷淋系统是本实用新型最优实施例,用于光伏清洗机内,安装在药水槽体1上方,包括可抓取药水槽体1内硅片的机械手2。所述机械手2上固定有与外部喷淋液泵管路连通的喷淋管3,所述喷淋管3端部固定有随动喷淋头4,喷淋管3外包裹有防腐外包层5。防腐外包层5为PTFE外包层。PTFE全称为聚四氟乙烯,具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点,几乎不溶于所有的溶剂,由PTFE外包层包裹的喷淋管3,具有良好的抗腐蚀性能,不受挥发的浸泡液影响,具有较长的使用寿命。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





