[实用新型]一种光伏晶硅电池扩散方阻测量装置有效
| 申请号： | 201720602048.9 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN207009403U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 常巧艳 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区天津市津汉*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，包括控制区和测试区，所述测试区包括设置在底部的样品台以及设置在所述样品台上部的升降工作台，所述升降工作台下方安装有多个四探针探头，所述多个四探针探头均匀分布在与所述样品台垂直的正上方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光伏晶硅 电池 扩散 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，包括控制区和测试区，其特征在于：所述测试区包括设置在底部的样品台以及设置在所述样品台上部的升降工作台，所述升降工作台下方安装有多个四探针探头，所述多个四探针探头均匀分布在与所述样品台垂直的正上方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
