[实用新型]一种光伏晶硅电池扩散方阻测量装置

权利要求书

1.一种光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，包括控制区和测试区，其特征在于：所述测试区包括设置在底部的样品台以及设置在所述样品台上部的升降工作台，所述升降工作台下方安装有多个四探针探头，所述多个四探针探头均匀分布在与所述样品台垂直的正上方。

2.根据权利要求1所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，包括控制区和测试区，其特征在于：所述样品台上方设有定位卡点。

3.根据权利要求2所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，其特征在于：所述样品台底部还设有真空吸孔，所述真空吸孔由控制区的真空装置控制真空度。

4.根据权利要求1所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，其特征在于：所述测试区上部设有遮光罩，所述遮光罩通过转轴与控制区连接，所述遮光罩的一个侧面设有提手，所述遮光罩可以通过提拉提手沿所述转轴实现180度旋转。

5.根据权利要求1-4任一项所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，其特征在于：所述升降工作台下方安装有五个四探针探头，所述五个四探针探头分别位于所述样品台的四个角部及中心部的垂直正上方。

6.根据权利要求4所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，其特征在于：所述控制区上设有电子控制屏。

7.根据权利要求4所述的光伏晶硅电池扩散方阻测量装置，其特征在于：所述遮光罩包括两层，外层为黑色丝质品，内层为轻质塑料。