[实用新型]一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置有效
| 申请号: | 201720586638.7 | 申请日: | 2017-05-24 | 
| 公开(公告)号: | CN207009406U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 | 
| 发明(设计)人: | 史建斌 | 申请(专利权)人: | 史建斌 | 
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 | 
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 | 
| 地址: | 362000 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 | 
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种硅片清洗装置,尤其涉及一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗彻底,清洗效率高的太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,包括有底板、支撑座、清洗框、出液管、阀门、网板和支架,驱动机构、旋转机构和打散机构,支撑座固接于底板一侧部,清洗框固接于支撑座顶部,出液管固接于清洗框一侧部的底部,阀门安装于出液管。本实用新型达到了清洗彻底,清洗效率高的效果。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 硅片 洁净 清洗 装置 | ||
【主权项】:
                一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,其特征在于,包括有底板(1)、支撑座(2)、清洗框(3)、出液管(4)、阀门(5)、网板(6)和支架(7),驱动机构(8)、旋转机构(9)和打散机构(10),支撑座(2)固接于底板(1)一侧部,清洗框(3)固接于支撑座(2)顶部,出液管(4)固接于清洗框(3)一侧部的底部,阀门(5)安装于出液管(4),网板(6)固接于清洗框(3)内壁;用于搅动清洗液的旋转机构(9)固接于底板(1)顶部,且紧贴支撑座(2);支架(7)固接于底板(1)另一侧部;打散机构(10)、驱动机构(8)固接于支架(7)一侧部,且驱动机构(8)两输出端分别与打散机构(10)、旋转机构(9)传动连接。
            
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                    H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
                
            H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





