[实用新型]一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置有效
| 申请号: | 201720586638.7 | 申请日: | 2017-05-24 |
| 公开(公告)号: | CN207009406U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
| 发明(设计)人: | 史建斌 | 申请(专利权)人: | 史建斌 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 362000 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 硅片 洁净 清洗 装置 | ||
1.一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,其特征在于,包括有底板(1)、支撑座(2)、清洗框(3)、出液管(4)、阀门(5)、网板(6)和支架(7),驱动机构(8)、旋转机构(9)和打散机构(10),支撑座(2)固接于底板(1)一侧部,清洗框(3)固接于支撑座(2)顶部,出液管(4)固接于清洗框(3)一侧部的底部,阀门(5)安装于出液管(4),网板(6)固接于清洗框(3)内壁;用于搅动清洗液的旋转机构(9)固接于底板(1)顶部,且紧贴支撑座(2);支架(7)固接于底板(1)另一侧部;打散机构(10)、驱动机构(8)固接于支架(7)一侧部,且驱动机构(8)两输出端分别与打散机构(10)、旋转机构(9)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,其特征在于,打散机构(10)包括有第二滑轨(101)、第二滑块(102)、第二连杆(103)、第二摆动块(104)、定滑轮(106)、拉线(107)、第三滑轨(108)、第三滑块(109)、固定块(1010)、弹性件(1011)、打散耙(1012)和顶板(1013);第二滑轨(101)、顶板(1013)固接于支架(7)一侧部,且第二滑轨(101)位于顶板(1013)底部;第二滑块(102)与第二滑轨(101)滑动连接,第二连杆(103)固接于第二滑块(102)底部,第二摆动块(104)固接于第二连杆(103)底部,第二摆动块(104)内开有第二一字孔(105),定滑轮(106)、第三滑轨(108)和固定块(1010)依次固接于顶板(1013)底部,第三滑块(109)与第三滑轨(108)滑动连接,打散耙(1012)固接于第三滑块(109)底部;拉线(107)一端部固接于第二滑块(102)顶部,另一端部绕过定滑轮(106),并与第三滑块(109)一端部固接;第三滑块(109)另一端部通过弹性件(1011)与固定块(1010)固接。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,其特征 在于,驱动机构(8)包括有支杆(81)、电机(82)、摆动杆(83)、第一摆动块(84)和第一滑轴(86);支杆(81)一端部固接于支架(7)一侧部,电机(82)固接于支杆(81)另一端部;摆动杆(83)与电机(82)输出端传动连接;第一滑轴(86)固接于摆动杆(83)一端部,第一摆动块(84)固接于摆动杆(83)另一端部;第一摆动块(84)内开有第一一字孔(85)。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池生产用硅片洁净型清洗装置,其特征在于,旋转机构(9)包括有第一滑轨(91)、第一滑块(92)、第一连杆(93)、第二滑轴(94)、齿条(95)、轴承座(96)、转轴(97)、齿轮(98)和叶片(99),第一滑轨(91)固接于底板(1)顶部,第一滑块(92)与第一滑轨(91)滑动连接;第一连杆(93)固接第一滑块(92)一端部,齿条(95)固接于第一滑块(92)另一端部;第二滑轴固接于第一连杆(93)一端部,且位于第一一字孔(85)内;轴承座(96)固接于清洗框(3)底部中间,转轴(97)与轴承座(96)枢接,叶片(99)固接于转轴(97)顶部,齿轮(98)固接于转轴(97)底部,齿轮(98)与齿条(95)啮合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





