[实用新型]单晶硅片精确端面磨切机有效
| 申请号: | 201720583525.1 | 申请日: | 2017-05-24 |
| 公开(公告)号: | CN206780128U | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
| 发明(设计)人: | 孙明祥 | 申请(专利权)人: | 浙江好亚能源股份有限公司 |
| 主分类号: | B24B27/06 | 分类号: | B24B27/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/00 |
| 代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙)33251 | 代理人: | 郑文涛 |
| 地址: | 314419 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及单晶硅片加工设备领域,公开了一种单晶硅片精确端面磨切机,包括机体,机体上设有滑板(7)和砂轮(1),滑板(7)沿着机体长度方向滑动,硅棒放置在所述滑板(7)上,机体上还设有轴向基准块(2),轴向基准块(2)位于砂轮(1)的两侧,所述的轴向基准块(2)的凸起高度低于砂轮(1)的凸起高度,轴向基准块(2)的凸起高度与砂轮(1)凸起高度之间的差值为硅棒被磨切掉的长度,还包括电机(13)、皮带(14)和传动轴(15),电机(13)通过皮带(14)带动传动轴(15)转动。本实用新型由于采用了以上技术方案,采用了砂轮磨切替代传统钢丝切割,可使硅片切割平整,硅片厚度一致。 | ||
| 搜索关键词: | 单晶硅 精确 端面 磨切机 | ||
【主权项】:
单晶硅片精确端面磨切机,其特征在于:包括机体,机体上设有滑板(7)和砂轮(1),滑板(7)沿着机体长度方向滑动,硅棒放置在所述滑板(7)上,机体上还设有轴向基准块(2),轴向基准块(2)位于砂轮(1)的两侧,所述的轴向基准块(2)的凸起高度低于砂轮(1)的凸起高度,轴向基准块(2)的凸起高度与砂轮(1)凸起高度之间的差值为硅棒被磨切掉的长度。
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