[实用新型]单晶硅片精确端面磨切机有效

专利信息
申请号: 201720583525.1 申请日: 2017-05-24
公开(公告)号: CN206780128U 公开(公告)日: 2017-12-22
发明(设计)人: 孙明祥 申请(专利权)人: 浙江好亚能源股份有限公司
主分类号: B24B27/06 分类号: B24B27/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/00
代理公司: 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙)33251 代理人: 郑文涛
地址: 314419 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及单晶硅片加工设备领域,公开了一种单晶硅片精确端面磨切机,包括机体,机体上设有滑板(7)和砂轮(1),滑板(7)沿着机体长度方向滑动,硅棒放置在所述滑板(7)上,机体上还设有轴向基准块(2),轴向基准块(2)位于砂轮(1)的两侧,所述的轴向基准块(2)的凸起高度低于砂轮(1)的凸起高度,轴向基准块(2)的凸起高度与砂轮(1)凸起高度之间的差值为硅棒被磨切掉的长度,还包括电机(13)、皮带(14)和传动轴(15),电机(13)通过皮带(14)带动传动轴(15)转动。本实用新型由于采用了以上技术方案,采用了砂轮磨切替代传统钢丝切割,可使硅片切割平整,硅片厚度一致。
搜索关键词: 单晶硅 精确 端面 磨切机
【主权项】:
单晶硅片精确端面磨切机,其特征在于:包括机体,机体上设有滑板(7)和砂轮(1),滑板(7)沿着机体长度方向滑动,硅棒放置在所述滑板(7)上,机体上还设有轴向基准块(2),轴向基准块(2)位于砂轮(1)的两侧,所述的轴向基准块(2)的凸起高度低于砂轮(1)的凸起高度,轴向基准块(2)的凸起高度与砂轮(1)凸起高度之间的差值为硅棒被磨切掉的长度。
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