[实用新型]单晶硅片精确端面磨切机

权利要求书

1.单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：包括机体，机体上设有滑板(7)和砂轮(1)，滑板(7)沿着机体长度方向滑动，硅棒放置在所述滑板(7)上，机体上还设有轴向基准块(2)，轴向基准块(2)位于砂轮(1)的两侧，所述的轴向基准块(2)的凸起高度低于砂轮(1)的凸起高度，轴向基准块(2)的凸起高度与砂轮(1)凸起高度之间的差值为硅棒被磨切掉的长度。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：还包括电机(13)、皮带(14)和传动轴(15)，电机(13)通过皮带(14)带动传动轴(15)转动，砂轮(1)安装在传动轴(15)上。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：滑板(7)上还设有高度基准板(4)和宽度基准板(5)，硅棒放置在高度基准板(4)上，高度基准板(4)和宽度基准板(5)均通过销钉可拆卸的安装在滑板(7)上。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：所述的宽度基准板(5)包括宽度挡板(51)和用于与滑板(7)相连的安装部(52)，所述的宽度基准板(5)呈L形。

5.根据权利要求3所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：还包括竖向气缸(9)和横向气缸(6)，竖向气缸(9)、横向气缸(6)均固定连接在滑板(7)上，竖向气缸(9)将硅棒挤压在高度基准板(4)上，横向气缸(6)将硅棒挤压在宽度基准板(5)上。

6.根据权利要求5所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：滑板(7)上固定设有气缸安装连接板(11)，竖向气缸(9)固定在所述的气缸安装连接板(11)上，气缸安装连接板(11)与滑板(7)之间还固定设有肋板(12)。

7.根据权利要求1所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：机体上设有滑槽(8)，滑板(7)底部设有滑轮，滑板(7)在所述滑槽(8)上滑移。

8.根据权利要求2所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：还包括电机座(10)，所述的电机(13)安装在电机座(10)的侧壁上。

9.根据权利要求1所述的单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：轴向基准块(2)为一截面为矩形的钢块。