[实用新型]探针卡及测试系统有效
| 申请号： | 201720519102.3 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN206945761U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 牛刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙)31291 | 代理人： | 侯莉,毛立群 |
| 地址： | 300385*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种探针卡及测试系统。一种探针卡，包含设置于所述基板上的探针和金手指，每一个所述探针对应一个金手指，所述探针同测试单元相连接，所述金手指与测试机相连接；所述探针包含第一探针和第二探针；至少一个接通装置，所述接通装置包含第一信号源与第二信号源，所述第一信号源与所述第一探针相连接，所述第二信号源与所述第二探针相连接；所述接通装置还包含一电磁铁。本实用新型的探针卡通过设置电磁铁与磁铁，使得在施加正向电流和反向电流时，电磁铁与磁铁相互吸引或排斥，从而给探针接通不同的电位，因此能够适用于更多的测试环境。本实用新型的探针卡可靠性高，响应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种探针卡，其特征在于，包括：基板，设置于所述基板上的探针和金手指，每一个所述探针对应一个金手指，所述探针同测试单元相连接，所述金手指与测试机相连接；所述探针包含第一探针和第二探针；至少一个接通装置，所述接通装置包含第一信号源与第二信号源，所述第一信号源与所述第一探针相连接，所述第二信号源与所述第二探针相连接；所述接通装置还包含一电磁铁，所述电磁铁与所述第一信号源电连接；所述电磁铁具有第一位置和第二位置，当所述电磁铁位于所述第一位置时与所述第二信号源电连接，当所述电磁铁位于所述第二位置时与所述第二信号源断开连接；电磁铁下方设置有磁铁。
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