[实用新型]探针卡及测试系统有效
| 申请号： | 201720519102.3 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN206945761U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 牛刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙)31291 | 代理人： | 侯莉,毛立群 |
| 地址： | 300385*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 测试 系统 | ||
1.一种探针卡，其特征在于，包括：
基板，设置于所述基板上的探针和金手指，每一个所述探针对应一个金手指，所述探针同测试单元相连接，所述金手指与测试机相连接；
所述探针包含第一探针和第二探针；
至少一个接通装置，所述接通装置包含第一信号源与第二信号源，所述第一信号源与所述第一探针相连接，所述第二信号源与所述第二探针相连接；
所述接通装置还包含一电磁铁，所述电磁铁与所述第一信号源电连接；
所述电磁铁具有第一位置和第二位置，当所述电磁铁位于所述第一位置时与所述第二信号源电连接，当所述电磁铁位于所述第二位置时与所述第二信号源断开连接；
电磁铁下方设置有磁铁。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述接通装置包含柔性电路板，所述柔性电路板连接所述第一信号源和所述第二信号源。
3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述第一信号源中的信号是正负电流交替的信号，所述第二信号源中的信号是接地信号。
4.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述磁铁与所述电磁铁相互吸引时所述电磁铁位于所述第一位置，所述磁铁与所述电磁铁相互排斥时所述电磁铁位于所述第二位置。
5.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述接通装置中还包含连接杆，所述连接杆一端连接所述第二信号源，另一端连接处于第一位置的电磁铁。
6.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述接通装置中还包含壳体、支撑杆，所述支撑杆与所述壳体固定连接。
7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于，还包含电磁铁固定装置，所述电磁铁固定装置一端连接于所述支撑杆，另一端连接所述电磁铁，所述电磁铁固定装置能相对于所述支撑杆摆动。
8.如权利要求3或4所述的探针卡，其特征在于，当所述第一信号源的信号是正电流时，所述磁铁与所述电磁铁相互排斥，当所述第一信号源的信号是负电流时，所述磁铁与所述电磁铁相互吸引。
9.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述磁铁设置于所述电磁铁位于第一位置的正下方。
10.一种测试系统，其特征在于，包括测试机，及设置于所述测试机上的如权利要求1～9中任一项所述的探针卡。
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