[实用新型]喷嘴

摘要

一种喷嘴，所述喷嘴包含圆柱状的基部及抵顶部，基部的中心具有通气孔，通气孔的孔径不大于基部最大厚度的两倍；基部的外周缘或内壁具有环状沟槽，环状沟槽的深度不大于基部最大厚度的二分之一；抵顶部由基部的一端向外延伸形成，抵顶部的中心具有与通气孔相互连通的穿孔，抵顶部的最大外径不小于基部的最大外径，抵顶部远离基部的一端具有平整的顶面；喷嘴能透过环状沟槽卡合设置于机台，且各喷嘴的抵顶部的部分能对应贴合设置于机台上的晶圆储存盒的气孔周缘，而机台能通过喷嘴及晶圆储存盒的气孔，对晶圆储存盒内部进行气体交换。

主权项

一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴用以固定设置于一机台，该机台用以提供一晶圆储存盒置放，而该喷嘴能与该晶圆储存盒的气孔相连接，而该机台能通过该喷嘴对该晶圆储存盒充气或抽气，该喷嘴包含：一基部，其为一圆柱状结构，该基部的中心形成有一通气孔；该基部的两端分别定义为一通气端及一连接端，该基部具有一环状沟槽，该环状沟槽用以与该机台相互卡合，该环状沟槽形成于该基部的外周缘或该基部形成该通气孔的内壁；其中，该基部的外周缘与该基部形成该通气孔的内壁距离定义为一最大厚度，该最大厚度减去该环状沟槽的深度定义为一最小厚度，该通气孔的孔径不大于最大厚度的两倍，且该环状沟槽的深度不大于最小厚度；以及一抵顶部，其由该基部的该连接端向远离该基部的方向延伸形成，该抵顶部的中心形成有一穿孔，该穿孔、该通气孔及该环状沟槽位于相同的中心轴线上，而该穿孔与该通气孔相互连通，该抵顶部的最大外径不小于该基部的最大外径，该抵顶部相反于与该基部相连接的一端具有平整的一顶面；其中，该晶圆储存盒固定设置于该机台时，该抵顶部的部分能对应贴合于该晶圆储存盒的气孔周缘，而该穿孔及该通气孔则能对应与该晶圆储存盒的气孔相互连通。