[实用新型]喷嘴

权利要求书

1.一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴用以固定设置于一机台，该机台用以提供一晶圆储存盒置放，而该喷嘴能与该晶圆储存盒的气孔相连接，而该机台能通过该喷嘴对该晶圆储存盒充气或抽气，该喷嘴包含：

一基部，其为一圆柱状结构，该基部的中心形成有一通气孔；该基部的两端分别定义为一通气端及一连接端，该基部具有一环状沟槽，该环状沟槽用以与该机台相互卡合，该环状沟槽形成于该基部的外周缘或该基部形成该通气孔的内壁；其中，该基部的外周缘与该基部形成该通气孔的内壁距离定义为一最大厚度，该最大厚度减去该环状沟槽的深度定义为一最小厚度，该通气孔的孔径不大于最大厚度的两倍，且该环状沟槽的深度不大于最小厚度；以及

一抵顶部，其由该基部的该连接端向远离该基部的方向延伸形成，该抵顶部的中心形成有一穿孔，该穿孔、该通气孔及该环状沟槽位于相同的中心轴线上，而该穿孔与该通气孔相互连通，该抵顶部的最大外径不小于该基部的最大外径，该抵顶部相反于与该基部相连接的一端具有平整的一顶面；其中，该晶圆储存盒固定设置于该机台时，该抵顶部的部分能对应贴合于该晶圆储存盒的气孔周缘，而该穿孔及该通气孔则能对应与该晶圆储存盒的气孔相互连通。

2.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该抵顶部包含有多个环状气密结构，该些环状气密结构由该顶面向远离该基部的方向凸出延伸形成，且该些环状气密结构彼此间隔地设置。

3.依据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，各该环状气密结构与该穿孔位于相同的中心轴线上；最接近该穿孔的该环状气密结构的内环侧壁，不与形成该穿孔的内壁共平面。

4.依据权利要求3所述的喷嘴，其特征在于，最远离该穿孔的该环状气密结构的外环侧壁，与该穿孔的中心轴线的距离，不大于该基部的外环侧壁与该通气孔的中心轴线的距离。

5.依据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，该些环状气密结构相反于与该顶面相连接的一接触表面位于相同的平面；其中，该晶圆储存盒固定设置于该机台时，各该环状气密结构的该接触表面能对应贴合于该晶圆储存盒的气孔周缘。

6.依据权利要求1至5其中任一项所述的喷嘴，其特征在于，该抵顶部的厚度由邻近于该基部的位置，向远离该基部的方向逐渐递减。

7.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该抵顶部具有一辅助环状沟槽，该辅助环状沟槽形成于该抵顶部形成该穿孔的内壁，且该辅助环状沟槽与该环状沟槽彼此相连通。

8.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该抵顶部相反于与该基部相连接的一端内凹形成有一卡合槽，该卡合槽与该穿孔相互连通，且该卡合槽的孔径大于该穿孔的孔径，该顶面形成于该卡合槽与该穿孔相连接的位置；该卡合槽用以与位于该晶圆储存盒的气孔周缘的结构相互卡合。

9.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该环状沟槽形成于该基部形成该通气孔的内壁，该基部的外周缘向外延伸形成有一强化结构，该强化结构与该抵顶部相互连接，而该抵顶部的外周缘与该强化结构的外周缘位于同一弧面。

10.依据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，该抵顶部邻近于该穿孔的位置形成有一环状斜面，该环状斜面由远离该基部的一端向该穿孔的中心轴线方向倾斜设置。