[实用新型]一种斜面式底面碳碳框

摘要

本实用新型公开了一种斜面式底面碳碳框，包括斜面式底面碳碳框本体；所述斜面式底面碳碳框本体是由多个碳碳框组成；所述碳碳框的每个为边框为凸台形结构，每个碳碳框中间固定安装有硅片、在硅片与碳碳框的接触面设有倾斜面，硅片与碳碳框底面是线与面的接触；本实用新型把平底面做一定角度的斜面，使得硅片于碳碳框底面是线于面的接触，就大程度的减少了硅片于碳碳框的接触面积；从而减少硅片边缘移发白和反镀膜现象。

主权项

一种斜面式底面碳碳框，包括斜面式底面碳碳框本体，其特征在于，所述斜面式底面碳碳框本体是由多个碳碳框组成；所述碳碳框的每个为边框为凸台形结构，每个碳碳框中间固定安装有硅片、在硅片与碳碳框的接触面设有倾斜面，硅片与碳碳框底面是线与面的接触。