[实用新型]平面异物检知量测装置及曝光机有效
| 申请号： | 201720400568.1 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN207051663U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 席中仙 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,王浩 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种平面异物检知量测装置及曝光机，涉及基板检测技术领域，解决了现有技术中存在的不能准确判断异物的实际大小、截面积和位置信息以及检出效率低、容易发生误检造的技术问题。平面异物检知量测装置包括操作台和信号发射接收装置，通过信号发射接收装置能够方便的监测出异物的高度值，与此同时，通过移动信号发射接收装置，即可量测基板上异物的横截面的大小；此外，通过设置两个以上的信号发射接收装置能够对基板上异物进行准确的定位以及对异物的三维轮廓进行描绘。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 异物 检知量测 装置 曝光 | ||
【主权项】：
一种平面异物检知量测装置，其特征在于，包括操作台(1)和信号发射接收装置(2)，所述信号发射接收装置(2)滑动的设置于所述操作台(1)的侧边，所述操作台(1)用于放置基板，所述信号发射接收装置(2)用于量测所述基板上的异物；所述信号发射接收装置(2)包括信号发射器(3)和信号接收器(4)，所述信号发射器(3)和所述信号接收器(4)分别设置于操作台(1)相对的两侧；所述信号接收器(4)上设置有用于接收和显示所述信号发射器(3)发射的信号的信号接收部(41)。
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