[实用新型]平面异物检知量测装置及曝光机有效
| 申请号： | 201720400568.1 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN207051663U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 席中仙 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,王浩 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 异物 检知量测 装置 曝光 | ||
1.一种平面异物检知量测装置，其特征在于，包括操作台(1)和信号发射接收装置(2)，所述信号发射接收装置(2)滑动的设置于所述操作台(1)的侧边，所述操作台(1)用于放置基板，所述信号发射接收装置(2)用于量测所述基板上的异物；
所述信号发射接收装置(2)包括信号发射器(3)和信号接收器(4)，所述信号发射器(3)和所述信号接收器(4)分别设置于操作台(1)相对的两侧；
所述信号接收器(4)上设置有用于接收和显示所述信号发射器(3)发射的信号的信号接收部(41)。
2.根据权利要求1所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述信号接收部(41)为沿垂直于所述操作台(1)的方向延伸的凹槽和设置在所述凹槽上的传感器。
3.根据权利要求2所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述信号接收部(41)的最低点低于基板的上表面。
4.根据权利要求3所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述信号接收器(4)上设置有用于将所述传感器接收到的信号传递到中央处理器的数据传输接口。
5.根据权利要求2所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述凹槽上设置有刻度层，所述刻度层的零刻线与基板的上表面齐平。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，包括至少两个所述发射接收装置(2)，且所述信号发射接收装置(2)分别沿所述操作台(1)的长边方向和所述操作台(1)的短边方向设置。
7.根据权利要求1-5中任意一项所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，还包括动力单元(5)，所述动力单元(5)与所述信号发射接收装置(2)相连。
8.根据权利要求7所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述动力单元(5)包括电机(51)和导轨机构(52)，所述导轨机构(52)上设置有滑块(53)，所述电机(51)与所述滑块(53)传动连接；
所述信号发射接收装置(2)固定于所述滑块(53)上。
9.根据权利要求1-5中任意一项所述的平面异物检知量测装置，其特征在于，所述信号发射器(3)为激光发射器，所述信号接收器(4)为激光接收器。
10.一种曝光机，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的平面异物检知量测装置。
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