[实用新型]一种太赫兹透镜检测系统

摘要

本实用新型公开了一种太赫兹透镜检测系统，该系统包括太赫兹波源、准直扩束系统、高阻硅片、氩离子激光器、第一离轴抛物面镜、第二离轴抛物面镜、哈特曼板、太赫兹透镜、第三离轴抛物面镜、太赫兹波探测器和计算机；所述太赫兹波源发射出的光束依次通过所述准直扩束系统、所述高阻硅片、所述第一离轴抛物面镜、所述第二离轴抛物面镜、所述哈特曼板、所述太赫兹透镜和所述第三离轴抛物面镜，所述太赫兹波探测器接收从所述第三离轴抛物面镜汇聚的所述光束，所述太赫兹波探测器与所述计算机电连接。本实用新型用于利用哈特曼板检测太赫兹透镜的性能，并且利用氩离子激光是否照射到高阻硅片上，实现对检测装置的开、关控制。

主权项

一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，包括太赫兹波源(1)、准直扩束系统(2)、高阻硅片(3)、氩离子激光器(4)、第一离轴抛物面镜(5)、第二离轴抛物面镜(6)、哈特曼板(7)、太赫兹透镜(8)、第三离轴抛物面镜(9)、太赫兹波探测器(10)和计算机(11)；所述太赫兹波源(1)发射出的光束依次通过所述准直扩束系统(2)、所述高阻硅片(3)、所述第一离轴抛物面镜(5)、所述第二离轴抛物面镜(6)、所述哈特曼板(7)、所述太赫兹透镜(8)和所述第三离轴抛物面镜(9)，所述太赫兹波探测器(10)接收从所述第三离轴抛物面镜(9)汇聚的所述光束，所述太赫兹波探测器(10)与所述计算机(11)电连接；所述氩离子激光器(4)照射到高阻硅片(3)上。