[实用新型]一种太赫兹透镜检测系统

权利要求书

1.一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，包括太赫兹波源(1)、准直扩束系统(2)、高阻硅片(3)、氩离子激光器(4)、第一离轴抛物面镜(5)、第二离轴抛物面镜(6)、哈特曼板(7)、太赫兹透镜(8)、第三离轴抛物面镜(9)、太赫兹波探测器(10)和计算机(11)；

所述太赫兹波源(1)发射出的光束依次通过所述准直扩束系统(2)、所述高阻硅片(3)、所述第一离轴抛物面镜(5)、所述第二离轴抛物面镜(6)、所述哈特曼板(7)、所述太赫兹透镜(8)和所述第三离轴抛物面镜(9)，所述太赫兹波探测器(10)接收从所述第三离轴抛物面镜(9)汇聚的所述光束，所述太赫兹波探测器(10)与所述计算机(11)电连接；

所述氩离子激光器(4)照射到高阻硅片(3)上。

2.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述太赫兹波源(1)为返波振荡器、量子级联激光器或CO₂激光抽运连续波太赫兹辐射源。

3.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述太赫兹波源(1)工作频率设置为0.1THz-8THz。

4.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述的准直扩束系统(2)为开普勒型或伽利略型准直扩束系统。

5.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述高阻硅片(3)厚度为500μm，所述高阻硅片(3)半径为30mm，所述高阻硅片(3)电阻率为10000Ω*cm。

6.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述太赫兹透镜(8)的材质为聚四氟乙烯。

7.根据权利要求1所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述太赫兹波探测器(10)为焦平面阵列探测器。

8.根据权利要求1或7所述一种太赫兹透镜检测系统，其特征在于，所述太赫兹波探测器(10)为日本NEC公司的I RV-T0831C焦平面阵列相机。