[实用新型]用于光电零部件的超净干燥设备

摘要

本实用新型公开了用于光电零部件的超净干燥设备，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层和吸附层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并形成干燥通道；所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁安装有控制面板，控制面板连接外部控制器。本实用新型结构从入口、出口各个角度对干燥过程的洁净性进行了强化，并带有温度和压力监测，具有较强的洁净保障性能和工艺灵活性，节省干燥时间2~3h，提高了生产效率。

主权项

用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，内室体和箱体外部结构之间具有保温层，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，风机位于风口门前端；若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并与内室体空间构成干燥通道；所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁还安装有控制面板，控制面板连接外部控制器，所述风机、加热模块均和控制器连接。