[实用新型]用于光电零部件的超净干燥设备

权利要求书

1.用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，内室体和箱体外部结构之间具有保温层，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，风机位于风口门前端；若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并与内室体空间构成干燥通道；

所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁还安装有控制面板，控制面板连接外部控制器，所述风机、加热模块均和控制器连接。

2.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备在与无尘室一侧和风口门一侧与墙体接触处均具有密封层，密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。

3.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述风口门和风机的出风口之间还具有耐温过滤层，所述耐温过滤层的材质为超细玻纤布或石棉布。

4.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，每层所述滤网层的目数不低于40000目，滤网层之间还具有吸附层，所述吸附层为活性炭吸附层。

5.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备内侧壁和隔板的外壁为抛光的不锈钢材质，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致。

6.根据权利要求1所述的用于光电零部件的超净干燥设备，其特征在于，所述干燥设备的内室体侧壁靠近风机处，还安装有温度传感器和风压传感器，所述温度传感器和风压传感器均和控制器连接。