[实用新型]用于光电零部件的超净干燥设备

说明书

技术领域

本实用新型属于光电洁净技术领域，尤其是用于光电零部件的超净干燥设备。

背景技术

光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。

干燥设备（干燥箱、干燥器等）作为一种加热烘干操作主体，对各种需要干燥的提供高效的蒸发水分/溶剂的作用，按照进气方式可分为自然通风和鼓风式等类型，均采用电加热的方式维持一定温度。纯粹电加热的方式一次干燥的时间大概需要6h。目前的干燥设备净化装置也仅仅是简单的设置，虽然相对传统的干燥设备洁净度有了很大提高，但对于光电零部件而言，很多情况下都需要100级，其净化程度远远达不到要求。除过滤效果外，通风的气源、流量和流道控制也对提升设备的持续洁净能力具有很大的意义。因此，必须从整体上优化干燥设备的结构以实质提高洁净干燥等级，达到“超净干燥”的标准，优化产品洁净干燥质量。

实用新型内容

实用新型目的：为了改进现有洁净干燥设备的结构，使其达到更高的洁净标准，且提高适用性和保障性能，本实用新型提供一种用于光电零部件的超净干燥设备，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容：用于光电零部件的超净干燥设备，包括箱体、入口门、滤口、风机、隔板、风口门、加热模块，所述箱体穿过并安装于无尘室墙壁，箱体内侧为内室体，内室体和箱体外部结构之间具有保温层，所述入口门位于无尘室一侧，所述风口门位于入口门对向一侧，风机位于风口门前端；若干所述滤口对称布置于箱体的无尘室一侧并穿过箱体进入内室体内部，每个滤口包括若干层滤网层和位于滤网层之间的吸附层，若干所述隔板交叉布置于内室体内侧，并与内室体空间构成干燥通道；

所述加热模块位于所述内室体侧面，所述箱体外侧壁还安装有控制面板，控制面板连接外部控制器，所述风机、加热模块均和控制器连接。

作为优选，所述干燥设备在与无尘室一侧和风口门一侧与墙体接触处均具有密封层，密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。密封的好坏在该体系中直接关系到无尘室的微尘进入干燥设备，虽然无尘室本身具有不错的无尘性，但多少还存在一些微尘，进入干燥设备后微尘会累积，如加一道或几道过滤，则微尘被挡在外面，不至于累积；液槽密封和胶泥密封的密封方式比较可靠，密封性能和抗膨胀预应力性能均较好，液槽密封本身具有的还能吸收外部尘埃，具有多重保险的作用。

作为优选，所述风口门和风机的出风口之间还具有耐温过滤层，所述耐温过滤层的材质为超细玻纤布或石棉布。由于风口门打开、风机运行时，或者风机关闭、风口门闭合时，因风口门外侧并非无尘室环境，空气扰动可能将微尘带入干燥设备，耐温过滤层的作用是，隔开微尘并吸附，避免进入干燥设备内部；超细玻纤布或石棉布耐温效果好，干燥设备内部为热气流环境，如用活性炭可能难以承受。

作为优选，每层所述滤网层的目数不低于40000目，滤网层之间还具有吸附层，所述吸附层为活性炭吸附层。40000目滤网对应0.31μm孔径，对于该过滤体系而言，应付0.3μm无尘环境（筛掉几乎全部0.3μm以上微尘），已然足够；由于活性炭的存在，0.1μm的微尘也能在进入干燥设备内之前被除掉很大一部分，同时亦能吸附有害气体。

作为优选，所述干燥设备内侧壁和隔板的外壁为抛光的不锈钢材质，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致。所谓的“一致”指的是在指定无尘室无尘等级下，内室体的无尘等级为生产要求与之对应的无尘等级（一般相等或相差一级），滤网层的目数液也为对应的。抛光的不锈钢材质不容易沾染微尘或摩擦产生金属尘，内室体的无尘等级、滤网层的目数和对应的无尘室的无尘等级一致是为了方便工艺需要，方便操作，同时不给过滤层造成很大负担或产生过大压降。

作为优选，所述干燥设备的内室体侧壁靠近风机处，还安装有温度传感器和风压传感器，所述温度传感器和风压传感器均和控制器连接。温度传感器和风压传感器用于监测内室体中的温度和压力，以保持良好工况。