[实用新型]一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，包括底座、沉积室、热丝、混气室和抽真空系统，所述底座上方安装有沉积室，所述沉积室内安装有支架，所述支架上设有基片台，所述基片台上设有衬底，所述支架两侧设有电极条，所述电极条之间安装有若干根热丝，所述电极条的另一端通过导线与电源相连接，所述沉积室通过导气管与混气室相连接，所述沉积室通过波纹管与抽真空系统相连接。本实用新型通过将热丝与衬底之间保持相互平行，并将衬底内盛放有离子液体，延长了热丝的使用寿命，提高了沉积速率和成膜的均匀性、一致性，进而保证了金刚石薄膜的均匀度，还具有设备结构简单、成本低等优点，易于推广应用。

主权项

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，包括底座(1)、沉积室(2)、热丝(3)、混气室(4)和抽真空系统(5)，其特征在于：所述底座(1)上方安装有沉积室(2)，所述沉积室(2)内安装有支架(6)，所述支架(6)上设有基片台(7)，所述基片台(7)上设有衬底(8)，所述支架(6)两侧设有电极条(9)，所述电极条(9)之间安装有若干根热丝(3)，所述电极条(9)的另一端通过导线与电源(10)相连接，所述沉积室(2)通过导气管与混气室(4)相连接，所述沉积室(2)通过波纹管与抽真空系统(5)相连接。