[实用新型]一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置

权利要求书

1.一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，包括底座(1)、沉积室(2)、热丝(3)、混气室(4)和抽真空系统(5)，其特征在于：所述底座(1)上方安装有沉积室(2)，所述沉积室(2)内安装有支架(6)，所述支架(6)上设有基片台(7)，所述基片台(7)上设有衬底(8)，所述支架(6)两侧设有电极条(9)，所述电极条(9)之间安装有若干根热丝(3)，所述电极条(9)的另一端通过导线与电源(10)相连接，所述沉积室(2)通过导气管与混气室(4)相连接，所述沉积室(2)通过波纹管与抽真空系统(5)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述衬底(8)为上端开口的容器，且衬底(8)内部盛有离子液体。

3.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述热丝(3)为金属钨丝或钽丝或其它耐高温电阻发热体材料。

4.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述导气管为抛光不锈钢管，且导气管上设有气体流量计(11)。

5.根据权利要求1所述的一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置，其特征在于：所述波纹管上设有截止阀(12)。