[实用新型]一种四探针薄膜电阻测试装置有效
| 申请号： | 201720223626.8 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN206876768U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈清明;张亚林;张辉 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种四探针薄膜电阻测试装置，包括绝缘块、钢丝、上板、下板、螺栓、铜管、底板、端板、压块，铜管一端连接测试用的电压表和电流表设备，另一端连有底板，底板上设有绝缘块、下板，下板上设有上板，四根钢丝从铜管内穿出来后再穿过绝缘块，钢丝再从上板底部穿过，钢丝在上板穿出端被压块压住固定后穿出上板，四根钢丝穿出上板的部分垂直于上板向下板的方向弯折，上板和下板通过螺栓连接，底板的另一端设有端板；本实用新型操作简单、精度准度高，极大的保证了实验重复性以及被测薄膜的光洁度和完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 薄膜 电阻 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种四探针薄膜电阻测试装置，其特征在于，包括绝缘块（1）、钢丝（2）、上板（3）、下板（6）、螺栓（7）、铜管（8）、底板（10）、端板（11）、压块（12），铜管（8）一端连接测试用的设备，另一端连有底板（10），底板（10）上设有绝缘块（1）、下板（6），下板（6）上设有上板（3），四根钢丝（2）从铜管（8）内穿出来后再穿过绝缘块（1），钢丝（2）再穿过上板（3），钢丝（2）在上板（3）端部被压块（12）固定后穿出上板（3），四根钢丝（2）穿出上板（3）后向下板（6）的方向弯折，上板（3）和下板（6）通过螺栓（7）连接，底板（10）的另一端设有端板（11）。
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