[实用新型]一种四探针薄膜电阻测试装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种四探针薄膜电阻测试装置，属于材料测试技术领域。

背景技术

目前，公知的四探针测量多晶薄膜材料随温度的变化其电阻值大小的测定装置，对于薄膜的厚度和尺寸有较高的要求。为了控制成本，在尽可能小的衬底上制备薄膜可以减少对于衬底的消耗和花费。实验过程中所制得的如2mm×2mm的薄膜现有的测试手段对其进行测试相对比较复杂。对于大尺寸薄膜材料的电学性能测试又不易操作，而且现有装置在测试的时候由于力道不好把握，很容易破坏薄膜材料的测试表面，使材料不能再次使用。

发明内容

为了克服现有技术存在的不足，本实用新型提供一种四探针薄膜电阻测试装置，该装置能精确的测量各种尺寸薄膜材料的电阻情况，有效地解决了实验过程中所制备的不同尺寸薄膜电学性能的测试问题，而且能最大化的保证薄膜表面的光洁性和完整度，装置整体易于操作，拆装简单。

本实用新型提供一种四探针薄膜电阻测试装置，包括绝缘块1、钢丝2、上板3、下板6、螺栓7、铜管8、底板10、端板11、压块12，铜管8一端连接测试用的设备：电压表、电流表，另一端连有底板10，底板10上设有绝缘块1、下板6，下板6上设有上板3，四根钢丝2从铜管8内穿出来后再穿过绝缘块1，钢丝2再从上板3底部穿过，钢丝2在上板3端部被压块12压住固定后穿出上板3，四根钢丝2穿出上板3的部分向下板6的方向弯折，上板3和下板6通过螺栓7连接，螺栓7可以控制上板3与下板6之间的距离，方便测试，底板10的另一端设有端板11。

所述四根钢丝2穿出上板3后的部分先向下板6的方向弯折，然后钢丝2端部再折成弯钩状探针4，弯钩的锐角为15-30°。

所述铜管8和端板11外部设有铜管套头9，铜管套头9与铜管8螺纹连接，方便拆卸，而且将装置套在铜管套头9内部，起保护作用。

所述钢丝2固定在上板3底部，防止脱落，固定方式为焊接、粘接。

所述上板3非常薄，钢丝2较粗且可以弯折，弯折后使上板3翘起。

使用时，将被测薄膜5放置在下板6靠近端板11一端的探针4下方，轻拧螺栓7上的螺母，上板3和下板6慢慢靠近，用电压表和电流表与铜管8中穿出的四根导线连接，测试被测薄膜5的电阻，当电压表和电流表示数稳定时，停止拧紧螺母，开始测试数据。

本实用新型的有益效果是：装置结构简单，操作简便，不仅能够完成薄膜材料电学性能测试，保证四根探针能较好的接触薄膜表面就可以准确测量薄膜随温度的变化其电阻的变化情况，还能充分保证测试完毕后薄膜材料表面的光洁度和完整性；采用螺栓螺母配合控制距离，使探针与被测薄膜表面始终接触良好，保证了薄膜电学性能测试的准确性，探针为弯钩结构避免了探针与材料直接尖锐的接触，更好的保护材料表面不被破坏。

附图说明

图1是本实用新型实施例1四探针装置结构示意图；

图2是本实用新型实施例1四探针装置部分结构示意图；

图3是本实用新型实施例1上板反面示意图；

图4是本实用新型实施例1铜管套头结构示意图；

图5是本实用新型实施例1四探针装置整体外部结构示意图（含铜管套筒）；

图中：1-绝缘块，2-钢丝，3-上板，4-探针，5-被测薄膜，6-下板，7-螺栓，8-铜管，9-铜管套头，10-底板，11-端板，12-压块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。

实施例1

一种四探针薄膜电阻测试装置，如图1、2、3所示，包括绝缘块1、钢丝2、上板3、下板6、螺栓7、铜管8、底板10、端板11、压块12，铜管8一端连接测试用的设备：电压表、电流表，另一端连有底板10，底板10上设有绝缘块1、下板6，绝缘块1在靠近铜管8的一端，下板6上设有上板3，四根钢丝2从铜管8内穿出来后再穿过绝缘块1，钢丝2再从上板3底部穿过，钢丝2固定在上板3底部，防止脱落，固定方式为焊接，钢丝2在上板3端部被压块12压住固定后穿出上板3，上板3和下板6通过螺栓7连接，上板3非常薄，钢丝2较粗且可以弯折，钢丝2弯折使上板3翘起，螺栓7可以控制上板3与下板6之间的距离，方便测试，底板10的另一端设有端板11，四根钢丝2穿出上板3后的部分向下板6的方向弯折，然后钢丝2端部被折成弯钩状探针4，弯钩的锐角为20°，绝缘块1的材质为环氧树脂。