[实用新型]一种四探针薄膜电阻测试装置

权利要求书

1.一种四探针薄膜电阻测试装置，其特征在于，包括绝缘块（1）、钢丝（2）、上板（3）、下板（6）、螺栓（7）、铜管（8）、底板（10）、端板（11）、压块（12），铜管（8）一端连接测试用的设备，另一端连有底板（10），底板（10）上设有绝缘块（1）、下板（6），下板（6）上设有上板（3），四根钢丝（2）从铜管（8）内穿出来后再穿过绝缘块（1），钢丝（2）再穿过上板（3），钢丝（2）在上板（3）端部被压块（12）固定后穿出上板（3），四根钢丝（2）穿出上板（3）后向下板（6）的方向弯折，上板（3）和下板（6）通过螺栓（7）连接，底板（10）的另一端设有端板（11）。

2.根据权利要求1所述四探针薄膜电阻测试装置，其特征在于，所述四根钢丝（2）穿出上板（3）后的部分向下板（6）的方向弯折，钢丝（2）端部折成弯钩状探针（4），弯钩的锐角为15-30°。

3.根据权利要求1所述四探针薄膜电阻测试装置，其特征在于，还设有铜管套头（9），铜管套头（9）与铜管（8）螺纹连接，将装置套在其内部。

4.根据权利要求1所述四探针薄膜电阻测试装置，其特征在于，所述钢丝（2）固定在上板（3）底部。