[实用新型]一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201720222393.X 申请日: 2017-03-08
公开(公告)号: CN206595229U 公开(公告)日: 2017-10-27
发明(设计)人: 金程缘;孙彬 申请(专利权)人: 山东蓝色电子科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L33/00
代理公司: 东营双桥专利代理有限责任公司37107 代理人: 罗文远
地址: 257091 山东省东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置,包括装置本体和传动装置,所述装置本体的中部贯穿有传动装置,所述传动装置的履带表面设有若干防水吸盘,所述传动装置的上方设有喷头,所述喷头与液体管道的出水端联通,所述液体管道的入水端设于装置本体内腔的底部,所述液体管道从下向上依次设有增压泵、逆止阀和压力贮水罐,所述装置本体内壁下方设有滤网。通过设置滤网、液体管道和增压泵,实现了液体的循环清洗,减少了大量的生产成本,通过设置传动装置,使得外延片的清洗自动进行,节省大量的人力,通过设置逆止阀,防止停磊时压力水回流,通过设置压力贮水罐,减少增压泵的频繁启动。
搜索关键词: 一种 用于 发光二极管 生产 外延 清洗 装置
【主权项】:
一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置,包括装置本体(1)和传动装置(2),所述传动装置(2)包括电机、主动轮、从动轮、履带和支架,其特征在于:所述装置本体(1)的中部贯穿有传动装置(2),所述传动装置(2)的履带表面设有若干防水吸盘(21),所述传动装置(2)的上方设有喷头(31),所述喷头(31)设置于装置本体(1)内腔的上方,所述喷头(31)与液体管道(3)的出水端联通,所述液体管道(3)的入水端设于装置本体(1)内腔的底部,所述液体管道(3)从下向上依次设有增压泵(4)、逆止阀(5)和压力贮水罐(6),所述装置本体(1)内壁下方设有滤网(11),所述传动装置(2)通过支架与底座(22)的连接固定。
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