[实用新型]自动检测双片装置

摘要

本实用新型提供一种自动检测双片装置，包括两条平行设置的输送带、红外感应器、激光扫描器、上机械手、下机械手和控制器，所述输送带一侧设有用于扫描晶硅片侧面影像的激光扫描器，所述上机械手设于两输送带之间位置的上方，所述下机械手设于两输送带之间位置的下方，所述输送带、红外感应器、激光扫描器、上机械手和下机械手均与所述控制器电路连接。本实用新型提供的一种自动检测双片装置，采用激光扫描器对晶硅片侧边扫描成像，并与预设像进行对比，并将多余的晶硅片取走，整个过程采用自动化，节约人力，同时也避免人工疲劳而产生漏检的问题，避免了产品损坏。

主权项

一种自动检测双片装置，其特征在于：包括两条平行设置的输送带(1)、红外感应器(2)、激光扫描器(3)、上机械手、下机械手和控制器(4)，所述输送带(1)一侧设有用于扫描晶硅片(10)侧面影像的激光扫描器(3)，所述上机械手设于两输送带(1)之间位置的上方，所述下机械手设于两输送带(1)之间位置的下方，所述输送带(1)、红外感应器(2)、激光扫描器(3)、上机械手和下机械手均与所述控制器(4)电路连接。