[实用新型]自动检测双片装置

权利要求书

1.一种自动检测双片装置，其特征在于：包括两条平行设置的输送带(1)、红外感应器(2)、激光扫描器(3)、上机械手、下机械手和控制器(4)，所述输送带(1)一侧设有用于扫描晶硅片(10)侧面影像的激光扫描器(3)，所述上机械手设于两输送带(1)之间位置的上方，所述下机械手设于两输送带(1)之间位置的下方，所述输送带(1)、红外感应器(2)、激光扫描器(3)、上机械手和下机械手均与所述控制器(4)电路连接。

2.如权利要求1所述的自动检测双片装置，其特征在于：所述输送带(1)远离所述激光扫描器(3)的一侧设有用于回收晶硅片(10)的料盒(5)。

3.如权利要求2所述的自动检测双片装置，其特征在于：所述上机械手包括第一真空吸盘(6)以及用于控制所述第一真空吸盘(6)于所述输送带(1)和所述料盒(5)之间往复运动的三维移动机构(9)，所述第一真空吸盘(6)与所述三维移动机构(9)输出端固定连接。

4.如权利要求3所述的自动检测双片装置，其特征在于：所述下机械手包括第二真空吸盘(7)以及用于驱动所述第二真空吸盘(7)靠近或远离所述输送带(1)的气缸(8)，所述第二真空吸盘(7)与所述气缸(8)输出端固定连接。