[实用新型]扫描式电子显微镜样品夹具有效
| 申请号： | 201720194594.3 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN206516603U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 施杰;刘国庆 | 申请（专利权）人： | 宜特（上海）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间。本实用新型的扫描式电子显微镜样品夹具能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 样品 夹具 | ||
【主权项】：
一种扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。
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