[实用新型]扫描式电子显微镜样品夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜技术领域，特别涉及扫描式电子显微镜技术领域，具体是指一种扫描式电子显微镜样品夹具。

背景技术

扫描电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。

在采用扫描电子显微镜例如现有的Hitachi su8010机台进行切片(cross-section)观测时，请参见图1所示，用胶带1例如碳胶带2直接把样品3粘合在SEM的样品基座4上，样品3的影像容易产生漂移。因为样品3是通过胶带1粘贴固定在SEM的样品基座4上的，因此很容易出现固定不牢固的现象，从而使样品3的导电性不好，量取数据不准确；而且样品3更换不方便，工作效率低。

因此，希望提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中的缺点，本实用新型的一个目的在于提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，适于大规模推广应用。

本实用新型的另一目的在于提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。

为达到以上目的，本实用新型的扫描式电子显微镜样品夹具，其特点是，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。

较佳地，所述第一固定件上横向设置有多个第一固定位，所述侧壁位于其中一个所述第一固定位上。

较佳地，所述第一固定件螺纹啮合在所述侧壁中。

更佳地，所述第一固定件是第一螺丝，所述侧壁中横向设置有第一螺孔，所述第一螺丝螺纹啮合在所述第一螺孔中。

较佳地，所述的第一固定件的数目为2个，2个所述第一固定件相对设置用于将所述样品抵靠固定在2个所述第一固定件之间。

较佳地，所述样品凹槽为圆柱形凹槽。

较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述样品基座。

更佳地，所述第二固定件为第二螺丝，所述底部中竖向设置有第二螺孔，所述第二螺丝螺纹啮合在所述第二螺孔中并用于螺纹啮合在所述样品基座中。

较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括胶带，所述胶带位于所述样品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述样品。

较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具为铜夹具。

本实用新型的有益效果主要在于：

1、本实用新型的扫描式电子显微镜样品夹具包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间，因此，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，适于大规模推广应用。

2、本实用新型的扫描式电子显微镜样品夹具包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间，因此，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。

本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，附图和权利要求得以充分体现，并可通过所附权利要求中特地指出的手段、装置和它们的组合得以实现。

附图说明