[实用新型]扫描式电子显微镜样品夹具有效
| 申请号： | 201720194594.3 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN206516603U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 施杰;刘国庆 | 申请（专利权）人： | 宜特（上海）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201103 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 样品 夹具 | ||
1.一种扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。
2.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件上横向设置有多个第一固定位，所述侧壁位于其中一个所述第一固定位上。
3.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件螺纹啮合在所述侧壁中。
4.如权利要求3所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件是第一螺丝，所述侧壁中横向设置有第一螺孔，所述第一螺丝螺纹啮合在所述第一螺孔中。
5.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述的第一固定件的数目为2个，2个所述第一固定件相对设置用于将所述样品抵靠固定在2个所述第一固定件之间。
6.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述样品凹槽为圆柱形凹槽。
7.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述样品基座。
8.如权利要求7所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第二固定件为第二螺丝，所述底部中竖向设置有第二螺孔，所述第二螺丝螺纹啮合在所述第二螺孔中并用于螺纹啮合在所述样品基座中。
9.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括胶带，所述胶带位于所述样品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述样品。
10.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述扫描式电子显微镜样品夹具为铜夹具。
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