[实用新型]一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅线切割加工辅助设备，旨在提供一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置。该种单晶硅棒金刚线开方进刀装置包括龙门架竖梁、直线进刀模组、导轮组件、工作台接近开关组件。本实用新型结构简单紧凑，使用本实用新型进行金刚线进刀开方，能够使晶棒的切割刀痕小、切割面质量高。

主权项

一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置，包括龙门架竖梁、直线进刀模组、导轮组件、工作台接近开关组件，其特征在于，所述龙门架竖梁上安装有导轨安装条；所述直线进刀模组竖直安装在龙门架竖梁的导轨安装条上；直线进刀模组包括电机、进给电机座、进给单元联轴器、KK模组、导轮安装座、护罩安装顶板、风琴护罩、护罩密封垫、护罩底板、钣金件；所述KK模组包括固定平台、丝杆、螺母、滑块、导轨，固定平台安装在龙门架竖梁的导轨安装条上；所述导轨设有两根，水平安装在固定平台上；所述滑块安装在导轨上，并通过螺母与丝杆相连，使滑块能沿着导轨上下移动；所述进给电机座安装在护罩安装顶板上，电机安装在进给电机座上，电机通过进给单元联轴器与KK模组中的丝杆相连，用于通过丝杆控制滑块移动；导轮安装座固定在KK模组上的滑块上；所述风琴护罩设有两个，分别安装在护罩安装顶板和护罩底板上，并通过护罩密封垫密封，用于防止水和硅粉进入直线进刀模组上；护罩安装顶板上还安装有用于防水和硅泥的钣金件；所述导轮组件包括导轮、导轮轮盖、导轮轮套、导轮轴承压盖、导轮锁紧螺钉、深沟球轴承、导轮轴，导轮组件通过螺纹安装在直线进刀模组的导轮安装座上；所述导轮轴安装在导轮安装座上；所述深沟球轴承设有两个，成对安装在导轮轴上，导轮锁紧螺钉用于对深沟球轴承进行轴向定位；所述导轮轮套安装在深沟球轴承上，导轮安装在导轮轮套上，导轮轮盖用于对导轮进行轴向固定；所述导轮轴承压盖安装在导轮轮套上，用于轴向固定轴承；导轮上开有导轮槽，金刚线能在导轮槽随深沟球轴承自由旋转；导轮组件采用迷宫密封方式和气密封进行密封，用于防止水和硅泥进入腐蚀零件；所述工作台接近开关组件包括接近开关、接近开关安装座、接近开关安装垫板、接近开关滑块、接近开关连接板，接近开关连接板安装在龙门竖梁龙门架竖梁上，接近开关安装座安装在接近开关连接板上，接近开关安装垫板通过接近开关滑块安装在接近开关安装座上，使接近开关安装垫板能利用接近开关滑块在接近开关安装座上滑动；接近开关安装在接近开关安装垫板上；工作台接近开关组件设有两个，分别上下安装在龙门架竖梁的导轨安装条上，安装在龙门架竖梁上部分的工作台接近开关组件中的接近开关为上位接近开关，安装在龙门架竖梁下部分的工作台接近开关组件中的接近开关为下位接近开关，用于限制直线进刀模组中的导轮安装座的上下位移，直线进刀模组从上位接近开关开始切割晶棒，到下位接近开关完成对晶棒的开方。