[实用新型]一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置有效
申请号: | 201720120244.2 | 申请日: | 2017-02-09 |
公开(公告)号: | CN206484748U | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 傅林坚;沈文杰;周建灿;谢龙辉;赵通通;何守龙;胡志伟;王凯;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D5/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 金刚 开方 进刀 装置 | ||
技术领域
本实用新型是关于单晶硅线切割加工辅助设备领域,特别涉及一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置。
背景技术
硅单晶材料是最为重要的光伏发电原材料,随着光伏行业迅猛发展,硅单晶产能不断提升。硅单晶常用制备方法有直拉法、区熔法等,此类方法制备的单晶硅均呈圆柱型。制备完成的单晶硅棒需经过截断、切方、磨削、切片等工序,加工出用于制造太阳能电池片的硅片。
在单晶硅切割领域,主要有盘锯切割、带锯切割、游离磨料线锯切割和金刚线切割。金刚线切割凭借切割稳定、效率高、硅损耗小等优良特性,正逐步取代游离磨料线锯切割及传统锯切割。
传统的单晶硅棒开方进刀装置一般采用多线切割的方式,此种结构笨重,需要占用很大空间。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种结构紧凑、定位准确、排线均匀的金刚线开方进刀装置。为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:
提供一种单晶硅棒金刚线开方进刀装置,包括龙门架竖梁、直线进刀模组、导轮组件、工作台接近开关组件,所述龙门架竖梁上安装有导轨安装条;
所述直线进刀模组竖直安装在龙门架竖梁的导轨安装条上;直线进刀模组包括电机、进给电机座、进给单元联轴器、KK模组、导轮安装座、护罩安装顶板、风琴护罩、护罩密封垫、护罩底板、钣金件;
所述KK模组包括固定平台、丝杆、螺母、滑块、导轨,固定平台安装在龙门架竖梁的导轨安装条上;所述导轨设有两根,水平安装在固定平台上;所述滑块安装在导轨上,并通过螺母与丝杆相连,使滑块能沿着导轨上下移动;
所述进给电机座安装在护罩安装顶板上,电机安装在进给电机座上,电机通过进给单元联轴器与KK模组中的丝杆相连,用于通过丝杆控制滑块移动;导轮安装座固定在KK模组上的滑块上;所述风琴护罩设有两个,分别安装在护罩安装顶板和护罩底板上,并通过护罩密封垫密封,用于防止水和硅粉进入直线进刀模组上;护罩安装顶板上还安装有用于防水和硅泥的钣金件;
所述导轮组件包括导轮、导轮轮盖、导轮轮套、导轮轴承压盖、导轮锁紧螺钉、深沟球轴承、导轮轴,导轮组件通过螺纹安装在直线进刀模组的导轮安装座上;所述导轮轴安装在导轮安装座上;所述深沟球轴承设有两个,成对安装在(一个)导轮轴上,导轮锁紧螺钉用于对深沟球轴承进行轴向定位;所述导轮轮套安装在深沟球轴承上,导轮安装在导轮轮套上,导轮轮盖用于对导轮进行轴向固定;所述导轮轴承压盖安装在导轮轮套上,用于轴向固定轴承;导轮上开有导轮槽,金刚线能在导轮槽随深沟球轴承自由旋转;
导轮组件采用迷宫密封方式和气密封进行密封,用于防止水和硅泥进入腐蚀零件;所述迷宫密封方式具体是指:导轮轴设有3个依次排列的环形密封齿,在导轮轮套上设计有2个依次排列的环形密封齿,导轮轴上的环形密封齿和导轮轮套上的环形密封齿能形成一系列截流间隙与膨胀空腔,用于在水和硅泥通过曲折迷宫的间隙时产生节流效应而达到阻漏的目的;所述气密封具体是指:在导轮轴中心设计有进气孔,在密封槽中设计有4个出气口,气体能从进气孔进入,从出气口出来,在迷宫密封间隙中形成气体保护,用于防止水和硅泥进入轴承腔;
所述工作台接近开关组件包括接近开关、接近开关安装座、接近开关安装垫板、接近开关滑块、接近开关连接板,接近开关连接板安装在龙门竖梁龙门架竖梁上,接近开关安装座安装在接近开关连接板上,接近开关安装垫板通过接近开关滑块安装在接近开关安装座上,使接近开关安装垫板能利用接近开关滑块在接近开关安装座上滑动,根据金刚线开始切硅棒的起始位置和切透单晶棒边皮时的位置来设置接近开关安装滑块的位置;接近开关安装在接近开关安装垫板上;工作台接近开关组件设有两个,分别上下安装在龙门架竖梁的导轨安装条上,安装在龙门架竖梁上部分的工作台接近开关组件中的接近开关为上位接近开关,安装在龙门架竖梁下部分的工作台接近开关组件中的接近开关为下位接近开关,用于限制直线进刀模组中的导轮安装座的上下位移,直线进刀模组从上位接近开关开始切割晶棒,到下位接近开关完成对晶棒的开方。
作为进一步的改进,所述导轨安装条和直线进刀模组的安装面的安装精度为0.025mm,保证了进给模组的垂直度。
作为进一步的改进,所述电机采用伺服电机。
作为进一步的改进,所述KK模组中的导轨采用直线导轨。
作为进一步的改进,所述接近开关采用磁性开关。
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