[实用新型]基板定位机构、宏观检查装置

摘要

本实用新型提供基板定位机构及使用其的宏观检查装置。所述基板定位机构具备固定部、驱动部、施力部及定位部，固定部与宏观检查装置的基板保持系统的主体框架相抵接，经由该固定部将定位机构固定于主体框架；驱动部以可自由移动的方式与固定部连接，并且在其被驱动时带动其上方的施力部及定位部一起移动；施力部至少包含弹力构件、导向构件及调节构件，且这些构件的连接使得在对调节构件调节时导向构件发生移动、导向构件的移动使弹力构件产生施加于定位部的定位力；定位部基于施力部施加的定位力定位基板。

主权项

一种基板定位机构，其具备：固定部：其与宏观检查装置的基板保持系统的主体框架相抵接，经由该固定部，将定位机构固定于宏观检查装置的基板保持系统的主体框架；驱动部：其以可自由移动的方式与所述固定部相连接，并且，该驱动部在被驱动时带动位于其上方的施力部及定位部一起移动；施力部：其至少包含弹力构件、导向构件及调节构件，且这些构件的连接使得在对调节构件进行调节时导向构件发生移动、导向构件的移动使得弹力构件产生施加于定位部的定位力；定位部：其基于所述施力部施加的定位力来定位基板。