[实用新型]基板定位机构、宏观检查装置

权利要求书

1.一种基板定位机构，其具备：

固定部：其与宏观检查装置的基板保持系统的主体框架相抵接，经由该固定部，将定位机构固定于宏观检查装置的基板保持系统的主体框架；

驱动部：其以可自由移动的方式与所述固定部相连接，并且，该驱动部在被驱动时带动位于其上方的施力部及定位部一起移动；

施力部：其至少包含弹力构件、导向构件及调节构件，且这些构件的连接使得在对调节构件进行调节时导向构件发生移动、导向构件的移动使得弹力构件产生施加于定位部的定位力；

定位部：其基于所述施力部施加的定位力来定位基板。

2.根据权利要求1所述的基板定位机构，其特征在于，所述施力部的所述弹力构件与所述导向构件连接，所述调节构件调节所述导向构件的移动，并通过所述导向构件的移动距离来改变所述弹力构件施加的定位力。

3.根据权利要求1或2所述的基板定位机构，其特征在于，所述弹力构件为弹簧。

4.根据权利要求3所述的基板定位机构，其特征在于，所述弹簧为拉簧。

5.根据权利要求1或2所述的基板定位机构，其特征在于，所述导向构件为导轨。

6.根据权利要求5所述的基板定位机构，其特征在于，所述导轨为交叉滚柱导轨。

7.根据权利要求1或2所述的基板定位机构，其特征在于，所述调节构件为调节螺栓。

8.根据权利要求1或2所述的基板定位机构，其特征在于，所述驱动部包含步进电机或伺服电机。

9.根据权利要求8所述的基板定位机构，其特征在于，所述驱动部包含步进电机。

10.一种宏观检查装置，其具备：

基板保持系统：其用于保持待检查的基板，该基板保持系统具备主体框架，在该主体框架上和/或主体框架内至少设置有权利要求1～9中任一项所述的基板定位机构、和基板悬浮/吸附机构，所述基板悬浮/吸附机构的部分或全部择一地进行悬浮或吸附，通过对所述基板鼓气而使所述基板相对于所述基板保持系统的主体框架悬浮，通过对所述基板进行吸引而将所述基板吸附而固定；

基板搬运系统：其在与所述基板保持系统之间进行所述基板的交接或搬运；

宏观照明系统：其对交接或搬运到所述基板保持系统的所述基板进行照明。

11.根据权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，所述基板搬运系统包含机械臂。

12.根据权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，所述基板悬浮/吸附机构包含真空吸盘支撑件。

13.根据权利要求11所述的宏观检查装置，其特征在于，所述基板悬浮/吸附机构包含真空吸盘支撑件。

14.根据权利要求10～13中任一项所述的宏观检查装置，其特征在于，在所述基板保持系统的主体框架的各边上分别至少设置有2个所述基板定位机构。

15.根据权利要求14所述的宏观检查装置，其特征在于，在所述基板保持系统的主体框架的各边上分别设置有2～5个所述基板定位机构。

16.根据权利要求15所述的宏观检查装置，其特征在于，在所述基板保持系统的主体框架的各边上分别设置有2个或3个所述基板定位机构。