[实用新型]基板定位机构、宏观检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及在玻璃基板等大型基板的外观检查中使用的基板定位机构、以及使用了该基板定位机构的宏观检查装置。

背景技术

在液晶显示器(LCD)等平板显示器的生产工艺中，产品检查是整个工艺生产中的重要环节。例如，对于液晶面板，通常要进行宏观检查、微观检查等产品检查。其中，宏观检查是利用宏观检查装置、通过目测观察对在各个制造工序中制造的玻璃基板等透明基板的外观进行检查，确认是否存在宏观缺陷等不良的工序。

另一方面，随着技术的发展与市场需求的逐渐提高，平板显示透明基板的幅面不断增大、厚度不断变薄。而与之相伴地，产生了以下问题：在为了利用宏观检查装置对平板显示透明基板进行检查而需要对基板进行定位时，定位力大小变得不易控制。其中，如果定位力小则无法有效地发挥出对基板的定位作用，如果定位力过大则容易产生玻璃碎片。

就目前市场上用于平板显示透明基板的宏观检查的宏观检查装置而言，大多不具备定位机构或仅仅采取单纯的气缸驱动来进行定位，在这样的宏观检查装置中，存在如上所述的力度不易控制的问题，特别是在对大尺寸平板显示透明基板进行定位时，极易因力度控制不准确或不均匀而导致产生玻璃碎片等。另外，特别是在利用气缸驱动来进行定位的宏观检查装置中，由气缸驱动的定位机构的驱动速度也难以控制，常常因速度过快或速度不均而导致有玻璃碎片产生等(参见对比文件1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：中国专利公开CN1906476A号

专利文献2：中国专利公开CN1053537A号

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本实用新型是鉴于如上所述的在平板显示透明基板的宏观检查装置、特别是在这样的宏观检查装置的定位机构中存在的技术问题而完成的，目的在于提供能够对应于不同尺寸的平板显示透明基板、特别是能够对应于大尺寸的平板显示透明基板的定位需求的、定位速度可控、定位力大小可调的基板无损定位机构。

另外，本实用新型的目的还在于提供使用了这样的基板无损定位机构的能够对应于不同尺寸的平板显示透明基板、特别是能够对应于大尺寸的平板显示透明基板的宏观检查需求的宏观检查装置。

解决问题的方法

本实用新型人等为了达成上述目的而进行了深入研究，结果发现，在基板定位机构、特别是在宏观检查装置内的基板定位机构中，通过在以步进电机、伺服电机等驱动机构代替传统的由气缸驱动的定位机构来控制定位速度的同时，组合采用弹力构件、导向构件及调节构件的连接驱动来精准地调节定位力，能够使具备这样的基板定位机构的宏观检查装置对应于不同尺寸的平板显示透明基板、特别是大尺寸的平板显示透明基板的无损定位需求，从而在保证不产生玻璃碎片的情况下实现对平板显示透明基板的宏观检查。

具体而言，本实用新型提供一种基板定位机构，其具备：固定部：其与宏观检查装置的基板保持系统的主体框架相抵接，经由该固定部，将定位机构固定于宏观检查装置的基板保持系统的主体框架；驱动部：其以可自由移动的方式与所述固定部相连接，并且，该驱动部在被驱动时带动位于其上方的施力部及定位部一起移动；施力部：其至少包含弹力构件、导向构件及调节构件，且这些构件的连接使得在对调节构件进行调节时导向构件发生移动、导向构件的移动使得弹力构件产生施加于定位部的定位力；定位部：其基于所述施力部施加的定位力来定位基板。

在本实用新型的如上所述的基板定位机构中，所述施力部的所述弹力构件与所述导向构件连接，所述调节构件调节所述导向构件的移动，并通过所述导向构件的移动距离来改变所述弹性构件施加的定位力。

在本实用新型的如上所述的基板定位机构中，所述弹力构件优选为弹簧，更优选为拉簧。

在本实用新型的如上所述的基板定位机构中，所述导向构件优选为导轨，更优选为交叉滚柱导轨。

在本实用新型的如上所述的基板定位机构中，所述调节构件优选为调节螺栓。

在本实用新型的如上所述的基板定位机构中，所述驱动部优选包含步进电机或伺服电机，更优选包含步进电机。