[实用新型]改进MOCVD加热器结构和MOCVD反应系统

摘要

本实用新型公开了一种改进MOCVD加热器结构和MOCVD反应系统，包括电极引脚；加热丝，加热丝为钨丝，与电极引脚连接；氮化硼板氮化硼板设于加热丝的下方；支架支架位于加热丝与氮化硼板之间以支撑加热丝；基板基板分为上基板和下基板，上基板位于氮化硼板的下方，下基板位于上基板的下方；连接杆连接杆分为第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆一端与氮化硼板连接，另一端与上基板连接，第二连接杆一端与上基板连接，另一端与下基板连接，该改进结构的结构简单易于安装和维护，不易发生变形，绝缘性高，能够避免发生短路，热反射率高，提高加热效率，而且该改进结构能降低50%的钨钼稀有金属的使用，节能环保。

主权项

一种改进MOCVD加热器结构，其特征在于，包括：电极引脚(4)；加热丝(1)，所述加热丝(1)为钨丝，与所述电极引脚(4)连接；氮化硼板(3)：所述氮化硼板(3)设于所述加热丝(1)的下方；支架(2)：所述支架(2)位于所述加热丝(1)与所述氮化硼板(3)之间以支撑加热丝(1)；基板(5)：所述基板(5)分为上基板(51)和下基板(52)，所述上基板(51)位于氮化硼板(3)的下方，所述下基板(52)位于所述上基板(51)的下方；连接杆(7)：所述连接杆(7)分为第一连接杆(71)和第二连接杆(72)，所述第一连接杆(71)一端与所述氮化硼板(3)连接，另一端与所述上基板(51)连接，所述第二连接杆(72)一端与所述上基板(51)连接，另一端与所述下基板(52)连接。