[实用新型]改进MOCVD加热器结构和MOCVD反应系统有效
| 申请号： | 201720083500.5 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN206521522U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 黎静;陈景升;田青林;张顺 | 申请（专利权）人： | 江苏实为半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 徐州市淮海专利事务所32205 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 mocvd 加热器 结构 反应 系统 | ||
1.一种改进MOCVD加热器结构，其特征在于，包括：
电极引脚(4)；
加热丝(1)，所述加热丝(1)为钨丝，与所述电极引脚(4)连接；
氮化硼板(3)：所述氮化硼板(3)设于所述加热丝(1)的下方；
支架(2)：所述支架(2)位于所述加热丝(1)与所述氮化硼板(3)之间以支撑加热丝(1)；
基板(5)：所述基板(5)分为上基板(51)和下基板(52)，所述上基板(51)位于氮化硼板(3)的下方，所述下基板(52)位于所述上基板(51)的下方；
连接杆(7)：所述连接杆(7)分为第一连接杆(71)和第二连接杆(72)，所述第一连接杆(71)一端与所述氮化硼板(3)连接，另一端与所述上基板(51)连接，所述第二连接杆(72)一端与所述上基板(51)连接，另一端与所述下基板(52)连接。
2.根据权利要求1所述的改进MOCVD加热器结构，所述加热丝(1)为多条，多条加热丝(1)共同围成圆环状结构，且多条所述加热丝(1)之间相互并联。
3.根据权利要求1所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述氮化硼板(3)为圆盘状结构，其厚度为2～4mm。
4.根据权利要求1所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述连接杆(7)为圆柱状结构，且其两端设有外螺纹。
5.根据权利要求4所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述连接杆(7)的外侧设有绝缘陶瓷(6)。
6.根据权利要求5所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述绝缘陶瓷(6)贯穿所述上基板(51)，而不贯穿下基板(52)和氮化硼板(3)。
7.根据权利要求1所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述连接杆(7)为多个。
8.根据权利要求1所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述支架(2)包括支撑口(21)和卡口(22)，所述支撑口(21)设于支架(2)的一端，与所述加热丝(1)连接，所述卡口(22)设于支架(2)的另一端，插入所述氮化硼板(3)。
9.根据权利要求8所述的改进MOCVD加热器结构，其特征在于，所述支架(2)为多个，且沿着所述加热丝(1)呈周向间隔排列。
10.一种MOCVD反应系统，其特征在于，所述MOCVD反应系统包括权利要求1至9中任一项所述的改进MOCVD加热器结构。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
