[实用新型]改进MOCVD加热器结构和MOCVD反应系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及金属有机化合物化学气相沉淀领域，尤其涉及一种改进MOCVD加热器结构和MOCVD反应系统。

背景技术

目前大多数的MOCVD的加热器结构中，用钨板31’或钼板32’作为隔热板3’，具体的结构（参见图1所示）。但是，在MOCVD加热器的结构中，加热丝1’的本身加热温度较高，可达2000℃左右，在高温状态下，隔热板3’容易发生变形，加热丝1’和支架2’均是通过孔穿过隔热板3’,在隔热板发生变形后,加热丝1’和支架2’极易与隔热板3’相接触，而隔热板3’具有导电性，这时就会导致加热丝1’发生短路，造成加热器的加热丝1’熔断，维修起来较麻烦，使用成本高；限于支架2’不能与隔热板3’相接触,支架2’需穿过隔热板3’和上基板51’通过绝缘陶瓷6’固定在下基板52’上（参见图3所示），这样就会使结构变得复杂，增加钨的使用量，而且还需要在上基板51’和下基板52’中间设置一层固定钼板8’作为固定板，该结构应用了大量的钨、钼金属，钨、钼作为难熔解的稀有金属，属于不可再生资源，这样的结构造成了资源浪费。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型的一个目的在于提供改进MOCVD加热器结构，该改进结构的结构简单易于安装和维护，不易发生变形，绝缘性高，热反射率高，而且该改进结构能降低50%的钨钼稀有金属的使用，节能环保。

本实用新型的另一个目的在于提出具有上述改进MOCVD加热器结构的MOCVD反应系统。

为了实现上述目的，根据本实用新型第一方面的改进MOCVD加热器结构，包括：电极引脚；加热丝，所述加热丝为钨丝，呈现圆环状结构，与所述电极引脚连接；氮化硼板：所述氮化硼板设于所述加热丝的下方；支架：所述支架位于所述加热丝与所述氮化硼板之间用以支撑加热丝；基板：所述基板分为上基板和下基板，所述上基板位于氮化硼板的下方，所述下基板位于所述上基板的下方；连接杆：所述连接杆分为第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆一端与所述氮化硼板连接，另一端与所述上基板连接，所述第二连接杆一端与所述上基板连接，另一端与所述下基板连接。

在该技术方案中，通过在电极引脚上通电可以使加热丝发热，而且该改进结构的结构简单易于安装和维护，使用氮化硼板作为隔热板热反射率高，加热器的加热效率更高，能够节约大约10%的耗电量，氮化硼热膨胀系数更小，不易发生变形，而且绝缘性高，不会发生短路，而且该改进结构能降低50%的钨钼稀有金属的使用，节能环保。

另外，根据本实用新型的改进MOCVD加热器结构，还可以具有如下技术特征：

进一步地，所述加热丝为多条，多条加热丝共同围成圆环状结构，且多条所述加热丝之间相互并联。

进一步地，所述氮化硼板为圆盘状结构，其厚度为2~4mm。

进一步地，所述连接杆为圆柱状结构，且其两端设有外螺纹。

优选地，所述连接杆的外侧设有绝缘陶瓷。

优选地，所述绝缘陶瓷贯穿所述上基板，而不贯穿下基板或氮化硼板。

进一步地，所述连接杆为多个。

进一步地，所述支架包括支撑口和卡口，所述支撑口设于支架的一端，与所述加热丝连接，所述卡口设于支架的另一端，插入所述氮化硼板。

优选地，所述支架为多个，且沿着所述加热丝呈周向间隔排列。

根据本实用新型第二方面实施例的MOCVD反应系统具有上述的改进MOCVD加热器结构。由于本实用新型第一方面的实施例的改进MOCVD加热器结构具有结构简单易于安装和维护，不易发生变形，绝缘性高，热反射率高，而且该改进结构能降低50%的钨钼稀有金属的使用，节能环保。因此，根据本实用新型第二方面实施例的MOCVD反应系统具有制造效率高、成本低，绿色环保等优点。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践得了解到。

附图说明

图1为现有技术中MOCVD加热器部分连接结构；

图2为改进MOCVD加热器部分连接结构；

图3为现有技术中MOCVD加热器的支架连接结构图；

图4为改进MOCVD加热器结构的支架连接结构图；

图5为改进MOCVD加热器结构中支架的示意图；

图6为改进MOCVD加热器结构的支架插孔示意图；

附图标记: