[实用新型]能改善应力的金刚石膜层结构有效
申请号: | 201720068438.2 | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN206477030U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 龚闯;吴剑波;朱长征;余斌 | 申请(专利权)人: | 上海征世科技有限公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C23C16/27 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 201799 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种能改善应力的金刚石膜层结构,包括基台;设置于所述基台上的应力分散层;形成在所述应力分散层上的金刚石层;形成在所述金刚石层上的硬质合金层,其中,所述应力分散层包括位于最下层的第一无机层、位于中间层的有机层和位于最上层的第二无机层。该结构可以显著提升金刚石层的附着力,同时也因为有机层的设置,缓解了无机层之间的应力,以达到较好的切割效果。 | ||
搜索关键词: | 改善 应力 金刚石 结构 | ||
【主权项】:
一种能改善应力的金刚石膜层结构,其特征在于,包括:基台;设置于所述基台上的应力分散层;形成在所述应力分散层上的金刚石层;形成在所述金刚石层上的硬质合金层,其中,所述应力分散层包括位于最下层的第一无机层、位于中间层的有机层和位于最上层的第二无机层。
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