[实用新型]能改善应力的金刚石膜层结构有效
| 申请号： | 201720068438.2 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206477030U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 龚闯;吴剑波;朱长征;余斌 | 申请（专利权）人： | 上海征世科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C16/27 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201799 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改善 应力 金刚石 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种能改善应力的金刚石膜层结构，其特征在于，包括：
基台；
设置于所述基台上的应力分散层；
形成在所述应力分散层上的金刚石层；
形成在所述金刚石层上的硬质合金层，
其中，所述应力分散层包括位于最下层的第一无机层、位于中间层的有机层和位于最上层的第二无机层。
2.如权利要求1所述的金刚石膜层结构，其特征在于：所述金刚石层的厚度为0.5-1.5mm。
3.如权利要求1所述的金刚石膜层结构，其特征在于：所述第一无机层的材料为氮化硅，所述第二无机层的材料为碳化硅，所述有机层的材料为聚酰亚胺。
4.如权利要求1所述的金刚石膜层结构，其特征在于：所述第一无机层和第二无机层的厚度设置为0.05-0.2mm，所述有机层的厚度为1-10mm。
5.如权利要求1所述的金刚石膜层结构，其特征在于：所述硬质合金层的厚度为2-10mm。
6.如权利要求1所述的金刚石膜层结构，其特征在于：所述金刚石层通过化学气相沉积的方法形成，所述第一无机层、有机层和第二无机层均通过沉积方法形成。
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