[实用新型]新型镀膜治具有效
| 申请号： | 201720067267.1 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN207047311U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 唐宏彬;冯岩;廖齐华;郭明兴;周帅坤 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种新型镀膜治具，包括火山口和遮板；火山口内盛放坩埚，坩埚盛放蒸镀源并放置在火山口内，遮板在火山口之上，在火山口上表面设置测量柱，通过测量柱对遮板与坩埚距离进行测量或校正，防止遮板距离火山口太远或太近。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 镀膜 | ||
【主权项】：
新型镀膜治具，包括火山口和遮板；火山口内盛放坩埚，坩埚盛放蒸镀源后放置在火山口内，遮板在火山口之上，其特征在于：所述治具在火山口的上表面设置测量柱。
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