[实用新型]新型镀膜治具有效
| 申请号： | 201720067267.1 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN207047311U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 唐宏彬;冯岩;廖齐华;郭明兴;周帅坤 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.新型镀膜治具，包括火山口和遮板；火山口内盛放坩埚，坩埚盛放蒸镀源后放置在火山口内，遮板在火山口之上，其特征在于：所述治具在火山口的上表面设置测量柱。
2.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱至少为三根。
3.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱呈三角形分布。
4.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述遮板为圆形。
5.根据权利要求4所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱与坩埚中心的水平距离为遮板的半径。
6.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱具备上下移动的功能。
7.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱具备水平移动的功能。
8.根据权利要求1所述的新型镀膜治具，其特征在于：所述测量柱具有刻度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门三安光电有限公司，未经厦门三安光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720067267.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高压细胞培养箱
- 下一篇：可通过手动操作辅助机器人实现空间配准的系统
- 同类专利
- 专利分类
